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9월 9일, 산업 정보 wechat news의 wechat 공개 계정은 "주요 기술 장비 첫 번째(세트)(2024년판)의 홍보 및 적용을 위한 지침 카탈로그"를 공개하는 기사를 게시했습니다. 그 중 전자특수장비 칼럼에는,크립톤 불화물 리소그래피 기계 및 아르곤 불화물 리소그래피 기계가 그중 하나입니다.. 이 데이터는아르곤 불화물 리소그래피 기계는 해상도가 65나노미터 미만이고 오버레이 정확도가 8나노미터 미만입니다.。

dongxing securities의 조사 보고서에 따르면 노광기는 직접 기록 노광기와 마스크 노광기로 나눌 수 있으며, 시장에서 주류를 이루는 제품은 i-iine(수은선), krf(크립톤 불화물), arf(불화 아르곤)입니다. ), arfi(불화아르곤 침투), euv(극자외선) 5개 카테고리입니다.

이번에 프로모션 카탈로그에 선정된 불화아르곤 노광기는 건식 arf 노광기여야 합니다. 구체적인 지표 측면에서는 asml의 twinscan nxt: 1470 및 twinscan xt: 1460k와 유사합니다.

올해 4월 국가시장감독관리총국 등 5개 부서가 공동으로 발표한 '중국 최초(세트) 주요 기술 장비 시험 및 평가 관리 조치(시험)'에 따르면, 주요 기술 장비는 국가의 중요한 무기이며 종합적인 국력과 국가안보와 관련된 것입니다.중국 최초(세트) 주요 기술 장비는 중국에서 중대한 기술 혁신을 달성하고 지적 재산권을 보유하고 있지만 아직 뚜렷한 시장 성과를 달성하지 못한 장비 제품을 의미합니다., 완전한 장비, 핵심 시스템 및 핵심 구성 요소를 포함합니다.

gongxin wechat이 게시한 기사에 따르면,이 지침 카탈로그는 주요 기술 장비의 첫 번째(세트)에 대한 혁신적인 개발, 홍보 및 적용을 촉진하고 산업, 금융, 금융, 과학 기술 등 국가 지원 정책의 조정을 강화하기 위한 것입니다.。

구체적으로, 크립톤 불화물 리소그래피 기계의 웨이퍼 직경은 300mm(12인치)이고, 조명 파장은 248mm이고, 오버레이는 25nm 이하입니다.

이에 비해 asml의 크립톤 불화물 리소그래피 기계 모델에는 twinscan nxt: 870, twinscan xt: 860n 및 twinscan xt: 860m이 포함됩니다. 이 세 가지 모델의 파장은 248mm이고 해상도는 110nm 이하입니다.

안내 카탈로그에 있는 더욱 발전된 불화 아르곤 리소그래피 기계의 조명 파장은 193mm입니다.해상도  65nm 오버레이  8nm。

이 데이터는 asml의 twinscan xt: 1460k에 가장 가깝습니다. 이 모델의 조명 파장은 193mm이고 해상도는 65nm 이하입니다. 또한 이 시스템은 편광 조명 하에서 57nm의 낮은 생산 해상도를 달성할 수 있습니다.

이에 비해 asml 침지 리소그래피 기계 twinscan nxt 1980fi의 해상도는 38nm 이하입니다. minsheng securities의 연구 보고서에 따르면 이 모델은 2.5nm(mmo)의 오버레이 정확도를 달성할 수 있습니다.

asml 공식 홈페이지 자료를 인용한 동해증권에 따르면 2023년 각종 노광기 평균 가격은 euv(1억7386만유로), arfi(7196만유로), arfdry(2742만유로), krf(1192만유로), i- iine (399만 유로).

동해증권은 이렇게 믿습니다.현재 노광기의 국산화율은 2.5%에 불과하며, 기계 전체의 기술력도 해외에 크게 뒤떨어져 있다.5~10년이라는 단기적으로는 90나노, 28나노 노광기 개발과 양산에 집중하는 한편, 국산 반도체 부품 개발에 집중하는 것이 중요하다.

동해증권은 중국국제입찰네트워크(china international tendering network) 정보에 따르면 반도체 장비 입찰에서 식각, 증착 등 핵심 장비 국산화율이 크게 향상됐다고 밝혔다. 핵심은 기술적으로 관련 중국 업체들이 점차 해외를 따라잡았다는 점이다. 상하이에 있는 회사이지만 광학적인 핵심 장비로는 조각 기계가 있습니다.국산화율은 3% 미만, 핵심 이유는 해외에 비해 부품 공급과 기계 완성도의 격차가 크다는 점이다.

9월 18일 오리엔탈포춘 컨셉 업종 중 포토리소그래피(접착제) 업종이 전체 업종 성장률 2.47%를 기록하며 상위권을 차지했다. 그 중 tongfei shares와 wavelength optoelectronics는 모두 12.40% 상승한 '20cm' 일일 한도를 달성했습니다. 이밖에 장장하이테크(zhangjiang hi-tech), 하이리홀딩스(highly holdings), 케멧가스(kemet gas) 등도 일일 한도 상승했다.

9월 19일에는 리소그래피 개념이 계속 활성화되어 kemet gas와 highly technology가 모두 일일 한도에 도달했으며 zhangjiang hi-tech는 wavelength optoelectronics, jinghua laser, sudavige 등이 뒤를 이어 상승했습니다.

zhangjiang hi-tech가 주목을 받은 이유는 주로 shanghai microelectronics company에 투자했기 때문입니다. zhangjiang hi-tech는 9월 10일 투자자 교환 플랫폼을 통해 자회사인 shanghai zhangjiang haocheng venture capital co., ltd.를 통해 shanghai microelectronics company에 2억 2300만 위안을 투자했으며 shanghai microelectronics의 지분 10.779%를 보유했다고 밝혔습니다. 이후에 보유 지분을 늘리거나 보유 지분을 줄이지 않습니다.

dongxing securities에 따르면 shanghai microelectronics는 현재 중국 최초이자 유일한 리소그래피 기계 대기업으로, 해당 제품은 주로 arf, krf 및 i-line 분야에서 출하되며 국내 시장 점유율의 80% 이상을 차지하고 있습니다. 이미 90nm 이하의 칩 제조 능력을 갖추고 있다.

포토리소그래피 기계 부품 측면에서 tongfei co., ltd.는 2023년 중간 보고서에서 자사의 액체 항온 장비가 포토리소그래피 기계, 에칭 기계 등 핵심 장비의 온도 제어를 위해 반도체 제조 장비 분야에서 주로 사용된다고 밝혔습니다. , 연삭 및 연마 기계.

그러나 dongxing securities 연구 보고서에 따르면 리소그래피 기계의 핵심 구성 요소에는 광원 시스템, 이중 작업대, 대물 렌즈 시스템, 정렬 시스템, 노광 시스템, 침지 시스템, 격자 시스템 등이 포함됩니다. 지원시설로는 포토레지스트, 마스크, 글루 개발 등이 있다.

광원 시스템 측면에서 huajin securities에 따르면 준레이저 광원의 경우 keyi hongyuan은 주로 248nm 엑시머 레이저, 건식 193nm 엑시머 레이저 등을 개발하며 fujing technology는 kbbf 결정을 개발합니다.

dongxing securities에 따르면 wavelength optoelectronics는 현재 중국 레이저 광학 부품의 주요 공급업체로, 회사가 성공적으로 개발한 리소그래피 기계용 대구경 광학 렌즈를 제공할 수 있는 능력을 갖추고 있습니다. 국내 기계 분야 지원에 사용됩니다.

wavelength optoelectronics는 또한 2023년 9월 15일 투자자 활동 기록을 공개하여 회사가 주로 반도체 분야의 두 가지 분야에 관여하고 있다고 밝혔습니다. 하나는 생산 분야, 즉 노광기와 포토리소그래피입니다. 이 회사는 대구경 광학 렌즈를 제공할 수 있습니다. 감지, 반사 및 투사를 위해 평행 광원 시스템을 제공할 수도 있으며, 다른 하나는 감지 장비용 광학 부품 및 부품을 제공할 수 있으며 고객을 위한 하위 시스템 개발 및 설치도 맞춤화할 수 있습니다.

대물렌즈 시스템 측면에서 둥싱증권은 마오라이 광학 리소그래피 기계 노광 대물렌즈의 초정밀 광학 부품 가공 기술이 산업화됐다고 밝혔다.

동해증권 조사보고서에 따르면,중국은 2023년에 225대의 리소그래피 기계를 수입할 예정이며, 수입액은 87억 5400만 달러에 달할 것입니다., 수입액이 역대 최고치를 기록했고, 3~5년 내로 우리나라 노광기계는 주로 수입에 의존하게 될 것으로 예상된다. 첨단 포토리소그래피 기계는 10만개에 달하는 부품을 갖고 있다. 전체적으로 우리나라 반도체 부품의 국산화율은 매우 낮다. 비록 관련 국영기업이 다양한 궤도에서 발전하고 있지만, 해외 기업들과의 격차도 여전히 크다. 이는 국내 부품업체의 발전 기회가 더 크다는 것을 의미한다.

면책조항: 이 기사의 내용과 데이터는 참고용일 뿐이며 사용하기 전에 확인하시기 바랍니다. 그에 따라 위험을 감수하고 작동하십시오.

보고자|주청샹

편집하다|||순지청 량샤오 뒤부아

교정|허샤오타오

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｜매일경제신문 엔비디뉴스 원문│

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