berita

pada tanggal 9 september, akun publik wechat dari informasi industri wechat news menerbitkan sebuah artikel yang mengungkapkan "katalog panduan untuk promosi dan penerapan (set) peralatan teknis utama pertama (edisi 2024)". diantaranya pada kolom peralatan khusus elektronik,mesin litografi krypton fluorida dan mesin litografi argon fluorida termasuk di antaranya. data ini menunjukkan hal itumesin litografi argon fluorida memiliki resolusi kurang dari 65 nanometer dan akurasi overlay kurang dari 8 nanometer。

menurut laporan penelitian dongxing securities, mesin litografi dapat dibagi menjadi mesin litografi tulis langsung dan mesin litografi topeng yang banyak beredar di pasaran adalah i-iine (kabel merkuri), krf (krypton fluoride), arf (argon fluoride). ), dan arfi (menyusup argon fluorida), euv (ultraviolet ekstrim) lima kategori.

mesin litografi argon fluorida yang dipilih dalam katalog promosi kali ini harus berupa mesin litografi arf kering. dalam hal indikator spesifik, ini mirip dengan twinscan nxt: 1470 dan twinscan xt: 1460k asml.

menurut "uji coba (uji coba) peralatan teknis utama (set) utama pertama di tiongkok" yang dikeluarkan bersama oleh lima departemen termasuk administrasi negara untuk regulasi pasar pada bulan april tahun ini, peralatan teknis utama adalah senjata penting negara dan merupakan terkait dengan kekuatan nasional menyeluruh dan keamanan nasional.peralatan teknis utama (set) pertama tiongkok mengacu pada produk peralatan yang telah mencapai terobosan teknologi besar di tiongkok, memiliki hak kekayaan intelektual, dan belum mencapai kinerja pasar yang signifikan., termasuk peralatan lengkap, sistem inti, dan komponen utama.

menurut sebuah artikel yang diterbitkan oleh gongxin wechat,katalog panduan ini untuk mempromosikan pengembangan inovatif, promosi dan penerapan (set) peralatan teknis utama pertama, dan untuk memperkuat koordinasi kebijakan pendukung nasional seperti industri, keuangan, keuangan, dan ilmu pengetahuan dan teknologi.。

secara khusus, diameter wafer mesin litografi kripton fluorida adalah 300mm (12 inci); panjang gelombang iluminasi adalah 248mm; resolusinya ≤110nm;

sebagai perbandingan, model mesin litografi kripton fluorida asml mencakup twinscan nxt: 870, twinscan xt: 860n, dan twinscan xt: 860m. panjang gelombang ketiga model ini adalah 248mm; resolusinya ≤110nm.

mesin litografi argon fluorida yang lebih canggih dalam katalog panduan memiliki panjang gelombang iluminasi 193mm.resolusi ≤ 65nm; hamparan ≤ 8nm。

data ini paling dekat dengan twinscan xt asml: 1460k. panjang gelombang iluminasi model ini adalah 193mm, dan resolusinya ≤65nm. selain itu, sistem ini dapat mencapai resolusi produksi serendah 57nm dalam pencahayaan terpolarisasi.

sebagai perbandingan, mesin litografi imersi asml twinscan nxt 1980fi memiliki resolusi ≤38nm. menurut laporan penelitian minsheng securities, model ini dapat mencapai akurasi overlay 2,5nm (mmo).

menurut donghai securities mengutip data situs resmi asml, harga rata-rata berbagai jenis mesin litografi pada tahun 2023 adalah euv (173,86 juta euro), arfi (71,96 juta euro), arfdry (27,42 juta euro), krf (11,92 juta euro), i-iine (3,99 juta euro).

donghai securities percaya bahwa,saat ini, tingkat lokalisasi mesin fotolitografi hanya 2,5%, dan teknologi keseluruhan mesin jauh tertinggal dari negara-negara lain.dalam jangka pendek 5 hingga 10 tahun, sangat penting untuk fokus pada pengembangan dan produksi massal mesin litografi 90nm dan 28nm di satu sisi, dan di sisi lain, fokus pada pengembangan komponen semikonduktor dalam negeri.

donghai securities mengatakan bahwa menurut informasi dari china international tendering network, dalam penawaran peralatan semikonduktor, tingkat lokalisasi peralatan inti seperti etsa dan deposisi telah meningkat pesat. intinya adalah secara teknis, perusahaan-perusahaan tiongkok yang relevan secara bertahap telah menyusul di luar negeri perusahaan di shanghai; tapi optik sebagai peralatan inti, mesin ukirantingkat lokalisasi kurang dari 3%, alasan utamanya adalah terdapat kesenjangan yang besar antara pasokan komponen dan teknologi mesin yang lengkap dibandingkan dengan luar negeri.

pada tanggal 18 september, di antara sektor konsep oriental fortune, sektor mesin fotolitografi (lem) menduduki peringkat tinggi, dengan pertumbuhan sektor secara keseluruhan mencapai 2,47%. diantaranya, saham tongfei dan optoelektronik panjang gelombang keduanya mencapai batas harian "20 cm"; xinlai yingcai naik 12,40%. selain itu, zhangjiang hi-tech, highly holdings, kemet gas, dll. juga naik hingga batas harian.

pada tanggal 19 september, konsep mesin litografi terus aktif. kemet gas dan highly technology keduanya mencapai batas hariannya. zhangjiang hi-tech meningkat lebih dari 6%.

zhangjiang hi-tech telah menarik perhatian terutama karena telah berinvestasi di perusahaan mikroelektronik shanghai. zhangjiang hi-tech menyatakan di platform pertukaran investor pada 10 september bahwa perusahaan menginvestasikan 223 juta yuan di shanghai microelectronics company melalui anak perusahaannya shanghai zhangjiang haocheng venture capital co., ltd. dan memegang 10,779% ekuitas shanghai microelectronics tidak kemudian meningkatkan kepemilikannya atau mengurangi kepemilikannya.

dongxing securities mengatakan bahwa di antara perusahaan domestik, shanghai microelectronics saat ini menjadi raksasa mesin litografi pertama dan satu-satunya di tiongkok, dengan pengiriman mencakup lebih dari 80% pangsa pasar domestik. produk-produknya terutama melibatkan bidang arf, krf, dan i-line . ia sudah memiliki kemampuan manufaktur chip 90nm ke bawah.

dalam hal suku cadang mesin fotolitografi, tongfei co., ltd. menyatakan dalam laporan jangka menengah tahun 2023 bahwa peralatan suhu konstan cairnya terutama digunakan di bidang peralatan manufaktur semikonduktor untuk kontrol suhu peralatan utama seperti mesin fotolitografi, mesin etsa , dan mesin gerinda dan pemoles.

namun, menurut laporan penelitian dongxing securities, komponen inti mesin litografi meliputi sistem sumber cahaya, meja kerja ganda, sistem lensa objektif, sistem penyelarasan, sistem eksposur, sistem perendaman, sistem kisi, dll. fasilitas pendukungnya antara lain photoresist, mask, pengembangan lem, dll.

dalam hal sistem sumber cahaya, menurut huajin securities, untuk sumber cahaya kuasi-laser, keyi hongyuan terutama mengembangkan laser excimer 248nm, laser excimer kering 193nm, dll.;

menurut dongxing securities, optoelektronik panjang gelombang adalah pemasok utama komponen optik laser di tiongkok. saat ini, perusahaan memiliki kemampuan untuk menyediakan lensa optik bukaan besar untuk mesin litografi digunakan untuk litografi mesin domestik.

wavelength optoelectronics juga membeberkan catatan aktivitas investor pada 15 september 2023 yang menyatakan bahwa perseroan terutama bergerak di dua bidang di bidang semikonduktor: satu bidang produksi yaitu mesin eksposur dan fotolitografi untuk deteksi, refleksi dan proyeksi, dan juga dapat menyediakan sistem sumber cahaya paralel; yang lainnya adalah bidang deteksi. perusahaan dapat menyediakan komponen optik dan komponen untuk peralatan deteksi, dan juga dapat menyesuaikan pengembangan dan pemasangan subsistem untuk pelanggan.

dalam hal sistem lensa objektif, dongxing securities mengatakan bahwa teknologi pemrosesan komponen optik ultra-presisi dari lensa objektif eksposur mesin litografi optik maolai telah diindustrialisasi.

menurut laporan penelitian donghai securities,china akan mengimpor sebanyak 225 mesin litografi pada tahun 2023, dengan nilai impor us$8,754 miliar, jumlah impor telah mencapai rekor tertinggi, dan diperkirakan mesin litografi negara saya akan bergantung pada impor dalam 3 hingga 5 tahun. mesin fotolitografi canggih memiliki sebanyak 100.000 bagian. secara keseluruhan, tingkat lokalisasi komponen semikonduktor di negara saya sangat rendah. meskipun perusahaan milik negara terkait sedang berkembang di berbagai jalur, masih terdapat kesenjangan antara perusahaan luar negeri menunjukkan bahwa perusahaan komponen dalam negeri memiliki peluang pengembangan yang lebih besar.

penafian: konten dan data dalam artikel ini hanya untuk referensi dan bukan merupakan saran investasi. beroperasi sesuai dengan risiko anda sendiri.

reporter|zhu chengxiang

sunting|||sun zhicheng liang xiao dubois

mengoreksi|he xiaotao

gambar sampul dari visual china (gambar dan teks tidak ada hubungannya dengan itu)

｜berita ekonomi harian berita nbd artikel asli｜

dilarang mencetak ulang, mengutip, menyalin, dan mirroring tanpa izin.

berita ekonomi harian