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il ministero dell'industria e dell'informatica promuove pubblicamente due macchine litografiche duv domestiche! sovrapposizione minima ≤8nm! molti titoli di macchine litografiche sono forti

2024-09-19

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il 9 settembre, l'account pubblico wechat di industry information wechat news ha pubblicato un articolo che divulga il "catalogo di orientamento per la promozione e l'applicazione del primo (set) di principali apparecchiature tecniche (edizione 2024)". tra questi, nella rubrica delle apparecchiature elettroniche speciali,tra questi figurano la macchina per litografia al fluoruro di krypton e la macchina per litografia al fluoruro di argon. questi dati lo dimostranola macchina per litografia al fluoruro di argon ha una risoluzione inferiore a 65 nanometri e una precisione di sovrapposizione inferiore a 8 nanometri

secondo un rapporto di ricerca di dongxing securities, le macchine per la litografia possono essere suddivise in macchine per la litografia a scrittura diretta e macchine per la litografia a maschera. quelle principali sul mercato sono i-iine (filo di mercurio), krf (fluoruro di kripton), arf (fluoruro di argon). ) e arfi (fluoruro di argon infiltrante), euv (ultravioletto estremo) cinque categorie.

la macchina per litografia al fluoruro di argon selezionata questa volta nel catalogo promozionale dovrebbe essere una macchina per litografia arf a secco. in termini di indicatori specifici, è simile a twinscan nxt: 1470 e twinscan xt: 1460k di asml.

secondo la "prima serie di misure di gestione (prova) di test e valutazione delle principali attrezzature tecniche della cina", pubblicata congiuntamente da cinque dipartimenti tra cui l'amministrazione statale per la regolamentazione del mercato nell'aprile di quest'anno, le principali attrezzature tecniche sono un'arma importante del paese ed è legati alla forza nazionale complessiva e alla sicurezza nazionale.le prime (serie) principali attrezzature tecniche della cina si riferiscono a prodotti che hanno raggiunto importanti progressi tecnologici in cina, possiedono diritti di proprietà intellettuale e non hanno ancora raggiunto prestazioni di mercato significative., comprese apparecchiature complete, sistemi principali e componenti chiave.

qual è la forza delle macchine litografiche domestiche?

secondo un articolo pubblicato da gongxin wechat,questo catalogo di orientamenti mira a promuovere lo sviluppo innovativo, la promozione e l'applicazione della prima (serie) di principali attrezzature tecniche e a rafforzare il coordinamento delle politiche di sostegno nazionali come l'industria, la finanza, la scienza e la tecnologia.

nello specifico, il diametro del wafer della macchina per litografia al fluoruro di kripton è 300 mm (12 pollici);

in confronto, i modelli di macchine per litografia al fluoruro di krypton di asml includono twinscan nxt: 870, twinscan xt: 860n e twinscan xt: 860m. la lunghezza d'onda di questi tre modelli è 248 mm, la risoluzione è ≤110 nm;

la macchina per litografia al fluoruro di argon più avanzata nel catalogo di guida ha una lunghezza d'onda di illuminazione di 193 mm.risoluzione ≤ 65 nm; sovrapposizione ≤ 8 nm

questi dati sono più vicini al twinscan xt di asml: 1460k. la lunghezza d'onda dell'illuminazione di questo modello è 193 mm e la risoluzione è ≤65 nm. inoltre, il sistema può raggiungere risoluzioni di produzione fino a 57 nm con illuminazione polarizzata.

in confronto, la macchina per litografia ad immersione asml twinscan nxt 1980fi ha una risoluzione di ≤38 nm. secondo un rapporto di ricerca di minsheng securities, questo modello può raggiungere una precisione di sovrapposizione di 2,5 nm (mmo).

secondo donghai securities che cita i dati del sito ufficiale asml, i prezzi medi delle varie macchine di litografia nel 2023 sono euv (173,86 milioni di euro), arfi (71,96 milioni di euro), arfdry (27,42 milioni di euro), krf (11,92 milioni di euro), i- iine (3,99 milioni di euro).

donghai securities ritiene che,attualmente, il tasso di localizzazione delle macchine litografiche è solo del 2,5% e la tecnologia dell’intera macchina è molto indietro rispetto a quella dei paesi d’oltremare.nel breve termine, da 5 a 10 anni, è fondamentale concentrarsi da un lato sullo sviluppo e sulla produzione in serie di macchine litografiche da 90 e 28 nm e dall’altro sullo sviluppo di componenti semiconduttori domestici.

la catena industriale delle macchine litografiche deve essere sviluppata urgentemente

donghai securities ha affermato che, secondo le informazioni del china international tendering network, nelle gare d'appalto per le apparecchiature per semiconduttori, il tasso di localizzazione delle apparecchiature principali come l'incisione e la deposizione è stato notevolmente migliorato. il punto è che, tecnicamente, le società cinesi rilevanti hanno gradualmente raggiunto l'estero società a shanghai; ma ottica l'attrezzatura principale è la macchina per incisioneil tasso di localizzazione è inferiore al 3%, il motivo principale è che rispetto all'estero esiste un grande divario tra la fornitura di componenti e la tecnologia delle macchine complete.

il 18 settembre, tra i settori concept di oriental fortune, il settore delle macchine per fotolitografia (colla) si è classificato ai primi posti, con una crescita complessiva del settore che ha raggiunto il 2,47%. tra questi, tongfei shares e wavelength optoelectronics hanno entrambi raggiunto il limite giornaliero di "20 cm" xinlai yingcai è aumentato del 12,40%; inoltre, anche zhangjiang hi-tech, highly holdings, kemet gas, ecc. sono aumentati del limite giornaliero.

il 19 settembre, il concetto di macchine litografiche ha continuato ad essere attivo. kemet gas e highly technology hanno entrambi raggiunto il loro limite giornaliero. zhangjiang hi-tech è aumentato di oltre il 6%, wavelength optoelectronics, jinghua laser, sudavige, ecc.

zhangjiang hi-tech ha attirato l'attenzione soprattutto perché ha investito nella shanghai microelectronics company. zhangjiang hi-tech ha dichiarato sulla piattaforma di scambio degli investitori il 10 settembre che la società ha investito 223 milioni di yuan nella shanghai microelectronics company attraverso la sua controllata shanghai zhangjiang haocheng venture capital co., ltd. e deteneva il 10,779% del capitale di shanghai microelectronics non ha successivamente aumentato le proprie partecipazioni né ridotto le proprie partecipazioni.

dongxing securities ha affermato che tra le società nazionali, shanghai microelectronics è attualmente il primo e unico colosso delle macchine per la litografia in cina, con spedizioni che rappresentano oltre l'80% della quota di mercato nazionale. i suoi prodotti riguardano principalmente i settori arf, krf e i-line. ha già capacità di produzione di chip da 90 nm e inferiori.

in termini di parti di macchine per fotolitografia, tongfei co., ltd. ha dichiarato nella sua relazione intermedia del 2023 che le sue apparecchiature liquide a temperatura costante vengono utilizzate principalmente nel campo delle apparecchiature per la produzione di semiconduttori per il controllo della temperatura di apparecchiature chiave come macchine per fotolitografia, macchine per incisione e macchine per la smerigliatura e la lucidatura.

tuttavia, secondo il rapporto di ricerca di dongxing securities, i componenti principali della macchina per litografia includono il sistema di sorgente luminosa, il doppio piano di lavoro, il sistema di lenti dell'obiettivo, il sistema di allineamento, il sistema di esposizione, il sistema di immersione, il sistema di reticolo, ecc. le strutture di supporto includono fotoresist, maschera, sviluppo di colla, ecc.

in termini di sistemi di sorgenti luminose, secondo huajin securities, per sorgenti luminose quasi-laser, keyi hongyuan sviluppa principalmente laser ad eccimeri da 248 nm, laser ad eccimeri secchi da 193 nm, ecc.;

secondo dongxing securities, wavelength optoelectronics è il principale fornitore di componenti ottici laser in cina attualmente, l'azienda è in grado di fornire lenti ottiche ad ampia apertura per macchine litografiche. il sistema di sorgenti luminose parallele delle macchine litografiche sviluppato con successo dall'azienda può essere utilizzato per la litografia domestica.

wavelength optoelectronics ha anche reso noto un record di attività degli investitori il 15 settembre 2023, affermando che la società è principalmente coinvolta in due campi nel campo dei semiconduttori: uno è il campo della produzione, vale a dire macchine per esposizione e fotolitografia. la società può fornire lenti ottiche di grande diametro per il rilevamento, la riflessione e la proiezione e può anche fornire sistemi di sorgenti luminose parallele; l'altro è il campo di rilevamento. l'azienda può fornire componenti ottici e componenti per apparecchiature di rilevamento e può anche personalizzare lo sviluppo e l'installazione di sottosistemi per i clienti.

in termini di sistema di lenti dell'obiettivo, dongxing securities ha affermato che la tecnologia di elaborazione dei componenti ottici ultraprecisi dell'obiettivo di esposizione della macchina per litografia ottica maolai è stata industrializzata.

secondo il rapporto di ricerca di donghai securities,la cina importerà fino a 225 macchine litografiche nel 2023, per un valore delle importazioni di 8,754 miliardi di dollari, l'importo delle importazioni ha raggiunto un livello record e si prevede che le macchine litografiche del mio paese faranno affidamento principalmente sulle importazioni tra 3 e 5 anni. una macchina fotolitografica avanzata ha fino a 100.000 parti. nel complesso, il tasso di localizzazione dei componenti dei semiconduttori del mio paese è molto basso. sebbene le imprese statali rilevanti si stiano sviluppando in vari modi, c'è ancora un grande divario anche tra le società estere indica che le società di componenti nazionali hanno maggiori opportunità di sviluppo.

dichiarazione di non responsabilità: il contenuto e i dati contenuti in questo articolo sono solo di riferimento e non costituiscono un consiglio di investimento. si prega di verificare prima dell'uso. operare di conseguenza a proprio rischio.

reporter|zhu chengxiang

modificare|||sun zhicheng liang xiao dubois

correzione di bozze|lui xiaotao

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