новости

9 сентября в публичном аккаунте wechat отраслевой информации wechat news была опубликована статья, раскрывающая «каталог руководств по продвижению и применению первого (набора) основного технического оборудования (издание 2024 г.)». среди них, в рубрике электронной спецтехники,среди них машина для литографии с фторидом криптона и машина для литографии с фторидом аргона.. эти данные показывают, чтомашина для литографии на основе фторида аргона имеет разрешение менее 65 нанометров и точность наложения менее 8 нанометров.。

согласно исследовательскому отчету dongxing securities, литографические машины можно разделить на литографические машины с прямой записью и машины для литографии с маской. основными моделями на рынке являются i-iine (ртутная проволока), krf (фторид криптона), arf (фторид аргона). ) и arfi (проникающий фторид аргона), euv (крайний ультрафиолет) пяти категорий.

на этот раз в рекламный каталог будет включена машина для литографии с фторидом аргона, которая должна представлять собой машину для сухой литографии arf. по конкретным показателям он аналогичен asml twinscan nxt: 1470 и twinscan xt: 1460k.

согласно «первым (установленным) китайским мерам по управлению испытаниями и оценкой технического оборудования (испытания)», совместно выпущенным пятью ведомствами, включая государственную администрацию по регулированию рынка, в апреле этого года, основное техническое оборудование является важным оружием страны и связанные с всеобъемлющей национальной мощью и национальной безопасностью.к первому (набору) крупному техническому оборудованию китая относятся продукты оборудования, которые достигли крупных технологических прорывов в китае, обладают правами интеллектуальной собственности и еще не достигли значительных рыночных показателей., включая полное оборудование, основные системы и ключевые компоненты.

согласно статье, опубликованной gongxin wechat,этот каталог руководств предназначен для содействия инновационной разработке, продвижению и применению первого (набора) основного технического оборудования, а также для усиления координации национальной политики поддержки, такой как промышленность, финансы, финансы, а также наука и технологии.。

в частности, диаметр пластины литографической машины с фторидом криптона составляет 300 мм (12 дюймов); длина волны освещения составляет 248 мм; разрешение составляет ≤ 110 нм, а наложение составляет ≤ 25 нм;

для сравнения, модели машин для литографии с фторидом криптона asml включают twinscan nxt: 870, twinscan xt: 860n и twinscan xt: 860m. длина волны этих трех моделей составляет 248 мм, разрешение ≤110 нм;

более совершенная машина для литографии на основе фторида аргона, представленная в каталоге руководства, имеет длину волны освещения 193 мм.разрешение ≤ 65 нм, наложение ≤ 8 нм;。

эти данные наиболее близки к twinscan xt компании asml: 1460k. длина волны освещения этой модели составляет 193 мм, а разрешение ≤65 нм. кроме того, система может достигать производственного разрешения до 57 нм при поляризованном освещении.

для сравнения, машина иммерсионной литографии asml twinscan nxt 1980fi имеет разрешение ≤38 нм. согласно исследовательскому отчету minsheng securities, эта модель может достичь точности наложения 2,5 нм (mmo).

по данным donghai securities со ссылкой на данные официального сайта asml, средние цены на различные литографические машины в 2023 году составляют euv (173,86 млн евро), arfi (71,96 млн евро), arfdry (27,42 млн евро), krf (11,92 млн евро), i- иине (3,99 миллиона евро).

donghai securities считает, чтов настоящее время уровень локализации литографических машин составляет всего 2,5%, а технология всей машины значительно отстает от технологий зарубежных стран.в краткосрочной перспективе от 5 до 10 лет крайне важно сосредоточиться на разработке и массовом производстве литографических машин по нормам 90 и 28 нм, с одной стороны, и, с другой стороны, сосредоточиться на разработке отечественных полупроводниковых компонентов.

donghai securities сообщила, что, согласно информации китайской международной тендерной сети, при торгах на полупроводниковое оборудование уровень локализации основного оборудования, такого как травление и осаждение, значительно улучшился. суть в том, что технически соответствующие китайские компании постепенно догнали зарубежные. компании в шанхае, но оптические в качестве основного оборудования гравировальный станок;коэффициент локализации составляет менее 3%основная причина заключается в том, что существует большой разрыв между поставками компонентов и комплексными машинными технологиями по сравнению с зарубежными.

18 сентября среди концептуальных секторов oriental fortune сектор фотолитографических машин (клея) занял первое место, общий рост сектора достиг 2,47%. среди них акции tongfei shares и wavelength optoelectronics достигли дневного лимита в 20 см. акции xinlai yingcai выросли на 12,40%. кроме того, на дневной лимит также выросли акции zhangjiang hi-tech, highly holdings, kemet gas и т. д.

19 сентября концепция литографических машин продолжала действовать. компании kemet gas и highly technology достигли своего дневного предела. акции zhangjiang hi-tech выросли более чем на 6%. их примеру последовали компании jinghua laser, sudavige и другие.

zhangjiang hi-tech привлекла внимание главным образом потому, что инвестировала в shanghai microelectronics company. zhangjiang hi-tech заявила 10 сентября на платформе обмена инвесторами, что компания инвестировала 223 миллиона юаней в shanghai microelectronics company через свою дочернюю компанию shanghai zhangjiang haocheng venture capital co., ltd. и владеет 10,779% акций shanghai microelectronics. впоследствии не увеличила свои активы или не сократила их.

dongxing securities сообщила, что среди отечественных компаний shanghai microelectronics в настоящее время является первым и единственным гигантом литографического оборудования в китае, поставки которого составляют более 80% доли внутреннего рынка. ее продукция в основном включает области arf, krf и i-line. у компании уже есть возможности для производства чипов по нормам 90 нм и ниже.

что касается деталей машин для фотолитографии, компания tongfei co., ltd. в своем промежуточном отчете за 2023 год заявила, что ее оборудование с постоянной температурой жидкости в основном используется в области оборудования для производства полупроводников для контроля температуры ключевого оборудования, такого как фотолитографические машины, машины для травления. и шлифовально-полировальные станки.

однако, согласно исследовательскому отчету dongxing securities, основные компоненты литографической машины включают систему источников света, двойной рабочий стол, систему объективов, систему выравнивания, систему экспонирования, систему погружения, систему решеток и т. д. вспомогательные средства включают фоторезист, маску, проявку клея и т. д.

что касается систем источников света, по данным huajin securities, для квазилазерных источников света keyi hongyuan в основном разрабатывает эксимерные лазеры с длиной волны 248 нм, сухие эксимерные лазеры с длиной волны 193 нм и т. д. fujiing technology разрабатывает кристаллы kbbf;

по данным dongxing securities, компания wavelength optoelectronics является основным поставщиком лазерных оптических компонентов в китае. в настоящее время компания имеет возможность поставлять оптические линзы с большой апертурой для литографических машин. система параллельных источников света для литографических машин успешно разработана. использоваться для поддержки отечественной литографии.

wavelength optoelectronics также раскрыла данные об активности инвесторов 15 сентября 2023 года, заявив, что компания в основном занимается двумя областями в области полупроводников: одна из них — производство, а именно экспонирующие машины и фотолитография. компания может поставлять оптические линзы большого диаметра. для обнаружения, отражения и проекции, а также может предоставить системы параллельных источников света; другая область - это область обнаружения. компания может предоставить оптические компоненты и компоненты для оборудования обнаружения, а также может разработать и установить подсистемы по индивидуальному заказу.

что касается системы объективов, компания dongxing securities заявила, что сверхточная технология обработки оптических компонентов экспонирующей линзы машины оптической литографии maolai была промышленно внедрена.

согласно исследовательскому отчету donghai securities,в 2023 году китай импортирует 225 литографических машин на сумму 8,754 миллиарда долларов сша.объем импорта достиг рекордно высокого уровня, и ожидается, что литографические машины моей страны будут в основном зависеть от импорта через 3-5 лет. усовершенствованная фотолитографическая машина состоит из 100 000 деталей. в целом уровень локализации полупроводниковых компонентов в моей стране очень низок. хотя соответствующие государственные предприятия развиваются по разным направлениям, между зарубежными компаниями все еще существует большой разрыв. указывает на то, что отечественные компании-производители комплектующих имеют большие возможности для развития.

отказ от ответственности: содержание и данные в этой статье предназначены только для справки и не являются инвестиционными рекомендациями. пожалуйста, проверьте перед использованием. действуйте соответственно на свой страх и риск.

репортер|чжу чэнсян

редактировать|||сунь чжичэн лян сяо дюбуа

корректура|хэ сяотао

изображение обложки от visual china (изображение и текст не имеют к этому никакого отношения)

｜ежедневные экономические новости nbdnews оригинальная статья｜

перепечатка, выдержки, копирование и зеркалирование без разрешения запрещены.

ежедневные экономические новости