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le 9 septembre, le compte public wechat de l'industry information wechat news a publié un article divulguant le « catalogue d'orientation pour la promotion et l'application du premier (ensemble) d'équipements techniques majeurs (édition 2024) ». parmi eux, dans la colonne des équipements électroniques spéciaux,la machine de lithographie au fluorure de krypton et la machine de lithographie au fluorure d'argon en font partie. ces données montrent quela machine de lithographie au fluorure d'argon a une résolution inférieure à 65 nanomètres et une précision de superposition inférieure à 8 nanomètres。

selon un rapport de recherche de dongxing securities, les machines de lithographie peuvent être divisées en machines de lithographie à écriture directe et machines de lithographie par masque. les principales sur le marché sont i-iine (fil de mercure), krf (fluorure de krypton) et arf (fluorure d'argon). ), et arfi (fluorure d'argon infiltrant), euv (ultraviolet extrême) cinq catégories.

la machine de lithographie au fluorure d'argon sélectionnée cette fois dans le catalogue promotionnel devrait être une machine de lithographie sèche arf. en termes d'indicateurs spécifiques, il est similaire aux twinscan nxt : 1470 et twinscan xt : 1460k d'asml.

selon le « premier (ensemble) de mesures de gestion (essai) de test et d'évaluation des équipements techniques majeurs de la chine » publié conjointement par cinq départements, dont l'administration d'état pour la régulation du marché, en avril de cette année, les équipements techniques majeurs constituent une arme importante du pays et sont liés à la force nationale globale et à la sécurité nationale.le premier (ensemble) équipement technique majeur de la chine fait référence aux produits d'équipement qui ont réalisé des percées technologiques majeures en chine, possèdent des droits de propriété intellectuelle et n'ont pas encore atteint des performances significatives sur le marché., y compris l'équipement complet, les systèmes de base et les composants clés.

selon un article publié par gongxin wechat,ce catalogue d'orientation vise à promouvoir le développement innovant, la promotion et l'application du premier (ensemble) d'équipements techniques majeurs, et à renforcer la coordination des politiques nationales de soutien telles que l'industrie, la finance, la science et la technologie.。

plus précisément, le diamètre de la tranche de la machine de lithographie au fluorure de krypton est de 300 mm (12 pouces) ; la longueur d'onde d'éclairage est de 248 mm ; la résolution est ≤ 110 nm et la superposition est ≤ 25 nm ;

en comparaison, les modèles de machines de lithographie au fluorure de krypton d'asml incluent twinscan nxt : 870, twinscan xt : 860n et twinscan xt : 860m. la longueur d'onde de ces trois modèles est de 248 mm ; la résolution est ≤ 110 nm.

la machine de lithographie au fluorure d'argon la plus avancée du catalogue de guidage a une longueur d'onde d'éclairage de 193 mm.résolution ≤ 65 nm ; superposition ≤ 8 nm。

ces données sont les plus proches de twinscan xt d’asml : 1 460 k. la longueur d'onde d'éclairage de ce modèle est de 193 mm et la résolution est ≤ 65 nm. de plus, le système peut atteindre des résolutions de production aussi basses que 57 nm sous éclairage polarisé.

en comparaison, la machine de lithographie par immersion asml twinscan nxt 1980fi a une résolution de ≤38 nm. selon un rapport de recherche de minsheng securities, ce modèle peut atteindre une précision de superposition de 2,5 nm (mmo).

selon donghai securities citant les données du site officiel d'asml, les prix moyens des différents types de machines de lithographie en 2023 sont euv (173,86 millions d'euros), arfi (71,96 millions d'euros), arfdry (27,42 millions d'euros), krf (11,92 millions d'euros), i-iine (3,99 millions d'euros).

donghai securities estime que,à l'heure actuelle, le taux de localisation des machines de photolithographie n'est que de 2,5 % et la technologie de l'ensemble de la machine est loin derrière celle des pays d'outre-mer.à court terme, de 5 à 10 ans, il est crucial de se concentrer d'une part sur le développement et la production en série de machines de lithographie 90 nm et 28 nm, et d'autre part sur le développement de composants semi-conducteurs nationaux.

donghai securities a déclaré que, selon les informations du china international tendering network, dans les appels d'offres pour les équipements semi-conducteurs, le taux de localisation des équipements de base tels que la gravure et le dépôt a été considérablement amélioré. entreprises à shanghai, mais optique comme équipement de base, la machine de gravurele taux de localisation est inférieur à 3%, la raison principale est qu'il existe un écart important entre l'approvisionnement en composants et la technologie complète des machines par rapport à l'étranger.

le 18 septembre, parmi les secteurs du concept oriental fortune, le secteur des machines de photolithographie (colle) s'est classé en tête, avec une croissance globale du secteur atteignant 2,47 %. parmi eux, tongfei shares et wavelength optoelectronics ont tous deux atteint la limite quotidienne de « 20 cm » ; xinlai yingcai a augmenté de 12,40 %. en outre, zhangjiang hi-tech, highly holdings, kemet gas, etc. ont également augmenté par rapport à la limite quotidienne.

le 19 septembre, le concept de machines de lithographie a continué à être actif. kemet gas et highly technology ont tous deux atteint leur limite quotidienne. zhangjiang hi-tech a augmenté de plus de 6 %.

zhangjiang hi-tech a attiré l'attention principalement parce qu'elle a investi dans la shanghai microelectronics company. zhangjiang hi-tech a déclaré sur la plateforme d'échange d'investisseurs le 10 septembre que la société avait investi 223 millions de yuans dans shanghai microelectronics company par l'intermédiaire de sa filiale shanghai zhangjiang haocheng venture capital co., ltd. et détenait 10,779 % du capital de shanghai microelectronics. n'a pas par la suite augmenté ses avoirs ni réduit ses avoirs.

dongxing securities a déclaré que parmi les entreprises nationales, shanghai microelectronics est actuellement le premier et le seul géant des machines de lithographie en chine, avec des livraisons représentant plus de 80 % de la part du marché intérieur. ses produits concernent principalement les domaines arf, krf et i-line. il dispose déjà de capacités de fabrication de puces de 90 nm et moins.

en ce qui concerne les pièces de machines de photolithographie, tongfei co., ltd. a déclaré dans son rapport à mi-parcours 2023 que son équipement de liquide à température constante est principalement utilisé dans le domaine des équipements de fabrication de semi-conducteurs pour le contrôle de la température d'équipements clés tels que les machines de photolithographie, les machines de gravure. , et des machines de meulage et de polissage.

cependant, selon le rapport de recherche de dongxing securities, les composants principaux de la machine de lithographie comprennent un système de source de lumière, une double table de travail, un système d'objectif, un système d'alignement, un système d'exposition, un système d'immersion, un système de grille, etc. les installations de support comprennent la résine photosensible, le masque, le développement de colle, etc.

en termes de systèmes de sources lumineuses, selon huajin securities, pour les sources lumineuses quasi-laser, keyi hongyuan développe principalement des lasers excimer 248 nm, des lasers excimer secs 193 nm, etc. fujing technology développe des cristaux kbbf ;

selon dongxing securities, wavelength optoelectronics est le principal fournisseur de composants optiques laser en chine. actuellement, la société a la capacité de fournir des lentilles optiques à grande ouverture pour les machines de lithographie. le système de source de lumière parallèle des machines de lithographie développé avec succès par la société peut. être utilisé pour la lithographie domestique.

wavelength optoelectronics a également divulgué un relevé d'activité des investisseurs le 15 septembre 2023, indiquant que la société est principalement impliquée dans deux domaines dans le domaine des semi-conducteurs : l'un est le domaine de la production, à savoir les machines d'exposition et la photolithographie. la société peut fournir des lentilles optiques de grand diamètre. pour la détection, la réflexion et la projection, et peut également fournir des systèmes de sources lumineuses parallèles ; l'autre est le domaine de la détection. la société peut fournir des composants optiques et des composants pour les équipements de détection, et peut également personnaliser le développement et l'installation de sous-systèmes pour les clients.

en termes de système de lentilles d'objectif, dongxing securities a déclaré que la technologie de traitement des composants optiques d'ultra-précision de la lentille d'objectif d'exposition de la machine de lithographie optique maolai a été industrialisée.

selon le rapport de recherche de donghai securities,la chine importera jusqu'à 225 machines de lithographie en 2023, pour une valeur d'importation de 8,754 milliards de dollars., le montant des importations a atteint un niveau record et on s'attend à ce que les machines lithographiques de mon pays dépendent principalement des importations dans 3 à 5 ans. une machine de photolithographie avancée compte jusqu'à 100 000 pièces. dans l'ensemble, le taux de localisation des composants semi-conducteurs de la chine est très faible. bien que les entreprises publiques concernées se développent dans divers domaines, il existe également un écart important entre les entreprises étrangères. indique que les entreprises nationales de composants ont de plus grandes opportunités de développement.

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journaliste|zhu chengxiang

modifier|||sun zhicheng liang xiao dubois

relecture|he xiaotao

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