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¡el ministerio de industria y tecnología de la información promociona públicamente dos máquinas nacionales de litografía duv! ¡superposición mínima ≤8 nm! muchas acciones de conceptos de máquinas de fotolitografía son sólidas

2024-09-19

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el 9 de septiembre, la cuenta pública de wechat de industry information wechat news publicó un artículo que divulga el "catálogo de orientación para la promoción y aplicación del primer (conjunto) de equipos técnicos importantes (edición 2024)". entre ellos, en la columna de equipos electrónicos especiales,entre ellas se encuentran la máquina de litografía con fluoruro de criptón y la máquina de litografía con fluoruro de argón.. estos datos muestran quela máquina de litografía con fluoruro de argón tiene una resolución de menos de 65 nanómetros y una precisión de superposición de menos de 8 nanómetros.

según un informe de investigación de dongxing securities, las máquinas de litografía se pueden dividir en máquinas de litografía de escritura directa y máquinas de litografía de máscara. las principales en el mercado son i-iine (alambre de mercurio), krf (fluoruro de criptón) y arf (fluoruro de argón). ) y arfi (fluoruro de argón infiltrante), euv (ultravioleta extremo) cinco categorías.

la máquina de litografía con fluoruro de argón seleccionada en el catálogo de promoción esta vez debe ser una máquina de litografía arf seca. en términos de indicadores específicos, es similar a twinscan nxt: 1470 y twinscan xt: 1460k de asml.

según el "primer (conjunto) de importantes medidas de gestión (ensayo) de prueba y evaluación de equipos técnicos de china" emitido conjuntamente por cinco departamentos, incluida la administración estatal para la regulación del mercado, en abril de este año, los equipos técnicos importantes son un arma importante del país y son relacionados con la fortaleza nacional integral y la seguridad nacional.el primer (conjunto) de equipos técnicos importantes de china se refiere a productos de equipos que han logrado importantes avances tecnológicos en china, poseen derechos de propiedad intelectual y aún no han logrado un desempeño significativo en el mercado., incluidos equipos completos, sistemas centrales y componentes clave.

¿cuál es la fuerza de las máquinas de litografía domésticas?

según un artículo publicado por gongxin wechat,este catálogo de orientación tiene como objetivo promover el desarrollo innovador, la promoción y la aplicación del primer (conjunto) de equipos técnicos importantes, y fortalecer la coordinación de las políticas nacionales de apoyo, como la industria, las finanzas, las finanzas y la ciencia y la tecnología.

específicamente, el diámetro de la oblea de la máquina de litografía con fluoruro de criptón es de 300 mm (12 pulgadas); la longitud de onda de iluminación es de 248 mm, la resolución es ≤110 nm y la superposición es ≤25 nm;

en comparación, los modelos de máquinas de litografía con fluoruro de criptón de asml incluyen twinscan nxt: 870, twinscan xt: 860n y twinscan xt: 860m. la longitud de onda de estos tres modelos es de 248 mm; la resolución es ≤110 nm.

la máquina de litografía con fluoruro de argón más avanzada del catálogo de orientación tiene una longitud de onda de iluminación de 193 mm.resolución ≤ 65 nm; superposición ≤ 8 nm;

estos datos son los más cercanos al twinscan xt de asml: 1460k. la longitud de onda de iluminación de este modelo es de 193 mm y la resolución es ≤65 nm. además, el sistema puede alcanzar resoluciones de producción de hasta 57 nm bajo iluminación polarizada.

en comparación, la máquina de litografía por inmersión asml twinscan nxt 1980fi tiene una resolución de ≤38 nm. según un informe de investigación de minsheng securities, este modelo puede alcanzar una precisión de superposición de 2,5 nm (mmo).

según donghai securities que cita datos del sitio web oficial de asml, los precios medios de varios tipos de máquinas de litografía en 2023 son euv (173,86 millones de euros), arfi (71,96 millones de euros), arfdry (27,42 millones de euros), krf (11,92 millones de euros), i-iine (3,99 millones de euros).

donghai securities cree que,en la actualidad, la tasa de localización de las máquinas de fotolitografía es sólo del 2,5% y la tecnología de toda la máquina está muy por detrás de la de los países extranjeros.en el corto plazo de 5 a 10 años, es crucial centrarse, por un lado, en el desarrollo y la producción en masa de máquinas de litografía de 90 nm y 28 nm y, por otro, centrarse en el desarrollo de componentes semiconductores nacionales.

es necesario desarrollar urgentemente la cadena industrial de máquinas de litografía.

donghai securities dijo que, según información de la red internacional de licitaciones de china, en las licitaciones de equipos semiconductores, la tasa de localización de equipos centrales, como el grabado y la deposición, ha mejorado considerablemente. lo principal es que, técnicamente, las empresas chinas relevantes se han puesto al día gradualmente con las del extranjero. empresas en shanghai, pero óptica como equipo principal, la máquina de grabado.la tasa de localización es inferior al 3%.la razón principal es que existe una gran brecha entre el suministro de componentes y la tecnología de máquinas completas en comparación con el extranjero.

el 18 de septiembre, entre los sectores conceptuales de oriental fortune, el sector de máquinas de fotolitografía (pegamento) ocupó un lugar destacado, con un crecimiento general del sector que alcanzó el 2,47%. entre ellos, tongfei shares y wavelength optoelectronics alcanzaron el límite diario de "20 cm"; xinlai yingcai aumentó un 12,40%. además, zhangjiang hi-tech, highly holdings, kemet gas, etc. también subieron hasta el límite diario.

el 19 de septiembre, el concepto de máquinas de litografía continuó activo. kemet gas y highly technology alcanzaron su límite diario. zhangjiang hi-tech aumentó en más del 6%, y jinghua laser, sudavige, etc.

zhangjiang hi-tech ha llamado la atención principalmente porque ha invertido en shanghai microelectronics company. zhangjiang hi-tech declaró en la plataforma de intercambio de inversores el 10 de septiembre que la empresa invirtió 223 millones de yuanes en shanghai microelectronics company a través de su filial shanghai zhangjiang haocheng venture capital co., ltd. y poseía el 10,779% del capital social de shanghai microelectronics. posteriormente no aumentó sus tenencias ni las redujo.

dongxing securities dijo que entre las empresas nacionales, shanghai microelectronics es actualmente el primer y único gigante de máquinas de litografía en china, con envíos que representan más del 80% de la cuota de mercado nacional. sus productos involucran principalmente los campos de arf, krf e i-line. ya tiene capacidades de fabricación de chips de 90 nm o menos.

en términos de piezas de máquinas de fotolitografía, tongfei co., ltd. declaró en su informe de mitad de período de 2023 que su equipo líquido de temperatura constante se utiliza principalmente en el campo de equipos de fabricación de semiconductores para el control de temperatura de equipos clave como máquinas de fotolitografía y máquinas de grabado. y máquinas de esmerilado y pulido.

sin embargo, según el informe de investigación de dongxing securities, los componentes principales de la máquina de litografía incluyen un sistema de fuente de luz, una mesa de trabajo dual, un sistema de lente objetivo, un sistema de alineación, un sistema de exposición, un sistema de inmersión, un sistema de rejilla, etc. las instalaciones de apoyo incluyen fotorresistente, máscara, revelado de pegamento, etc.

en términos de sistemas de fuentes de luz, según huajin securities, para fuentes de luz cuasi láser, keyi hongyuan desarrolla principalmente láseres excimer de 248 nm, láseres excimer secos de 193 nm, etc., fujing technology desarrolla cristales kbbf.

según dongxing securities, wavelength optoelectronics es el principal proveedor de componentes ópticos láser en china. actualmente, la empresa tiene la capacidad de proporcionar lentes ópticas de gran apertura para máquinas de litografía. el sistema de fuente de luz paralela de las máquinas de litografía desarrollado con éxito por la empresa. ser utilizado para litografía doméstica. soporte de campo.

wavelength optoelectronics también publicó un registro de actividad de los inversores el 15 de septiembre de 2023, indicando que la empresa participa principalmente en dos campos en el campo de los semiconductores: uno es el campo de producción, es decir, máquinas de exposición y fotolitografía. la empresa puede proporcionar lentes ópticas de gran diámetro. para detección, reflexión y proyección, y también puede proporcionar sistemas de fuentes de luz paralelas. el otro es el campo de detección. la empresa puede proporcionar componentes ópticos y componentes para equipos de detección, y también puede personalizar el desarrollo y la instalación de subsistemas para los clientes.

en términos del sistema de lentes objetivos, dongxing securities dijo que la tecnología de procesamiento de componentes ópticos de ultra precisión de los lentes objetivos de exposición de la máquina de litografía óptica maolai se ha industrializado.

según el informe de investigación de donghai securities,china importará hasta 225 máquinas de litografía en 2023, por un valor de importación de 8.754 millones de dólares, el monto de las importaciones ha alcanzado un récord y se espera que las máquinas de litografía de mi país dependan principalmente de las importaciones dentro de 3 a 5 años. una máquina de fotolitografía avanzada tiene hasta 100.000 piezas. en general, la tasa de localización de los componentes semiconductores de mi país es muy baja. aunque las empresas estatales relevantes se están desarrollando en varias direcciones, todavía existe una gran brecha entre las empresas extranjeras. indica que las empresas de componentes nacionales tienen mayores oportunidades de desarrollo.

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reportero|zhu chengxiang

editar|||sun zhicheng liang xiao dubois

corrección de pruebas|él xiaotao

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