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em 9 de setembro, a conta pública wechat do industry information wechat news publicou um artigo divulgando o "catálogo de orientações para a promoção e aplicação do primeiro (conjunto) de equipamentos técnicos principais (edição 2024)". entre eles, na coluna de equipamentos eletrônicos especiais,a máquina de litografia com fluoreto de criptônio e a máquina de litografia com fluoreto de argônio estão entre elas. este dado mostra quea máquina de litografia com fluoreto de argônio tem resolução inferior a 65 nanômetros e precisão de sobreposição inferior a 8 nanômetros。

de acordo com um relatório de pesquisa da dongxing securities, as máquinas de litografia podem ser divididas em máquinas de litografia de gravação direta e máquinas de litografia de máscara. as principais no mercado são i-iine (fio de mercúrio), krf (fluoreto de criptônio), arf (fluoreto de argônio). ) e arfi (fluoreto de argônio infiltrante), euv (ultravioleta extremo) cinco categorias.

a máquina de litografia com fluoreto de argônio selecionada no catálogo de promoção desta vez deve ser uma máquina de litografia arf seca. em termos de indicadores específicos, é semelhante ao twinscan nxt: 1470 e twinscan xt: 1460k da asml.

de acordo com as "primeiras (conjunto) principais medidas de gerenciamento de avaliação e teste de equipamento técnico (teste) da china", emitidas conjuntamente por cinco departamentos, incluindo a administração estatal para regulamentação do mercado em abril deste ano, os principais equipamentos técnicos são uma arma importante do país e são relacionadas com a força nacional abrangente e a segurança nacional.o primeiro (conjunto) principal equipamento técnico da china refere-se a produtos de equipamento que alcançaram grandes avanços tecnológicos na china, possuem direitos de propriedade intelectual e ainda não alcançaram um desempenho de mercado significativo., incluindo equipamentos completos, sistemas principais e componentes principais.

de acordo com um artigo publicado pela gongxin wechat,este catálogo de orientação visa promover o desenvolvimento inovador, promoção e aplicação do primeiro (conjunto) de equipamentos técnicos importantes e fortalecer a coordenação de políticas de apoio nacionais, como indústria, finanças, finanças e ciência e tecnologia.。

especificamente, o diâmetro do wafer da máquina de litografia com fluoreto de criptônio é de 300 mm (12 polegadas); o comprimento de onda da iluminação é de 248 mm;

em comparação, os modelos de máquina de litografia com fluoreto de criptônio da asml incluem twinscan nxt: 870, twinscan xt: 860n e twinscan xt: 860m. o comprimento de onda desses três modelos é 248 mm;

a máquina de litografia com fluoreto de argônio mais avançada no catálogo de orientação tem um comprimento de onda de iluminação de 193 mm.resolução ≤ 65nm sobreposição ≤ 8nm;。

esses dados são os mais próximos do twinscan xt da asml: 1460k. o comprimento de onda de iluminação deste modelo é 193 mm e a resolução é ≤65 nm. além disso, o sistema pode atingir resoluções de produção tão baixas quanto 57nm sob iluminação polarizada.

em comparação, a máquina de litografia de imersão asml twinscan nxt 1980fi tem uma resolução de ≤38nm. de acordo com um relatório de pesquisa da minsheng securities, este modelo pode atingir uma precisão de sobreposição de 2,5 nm (mmo).

de acordo com a donghai securities citando dados do site oficial da asml, os preços médios de várias máquinas de litografia em 2023 são euv (173,86 milhões de euros), arfi (71,96 milhões de euros), arfdry (27,42 milhões de euros), krf (11,92 milhões de euros), i- linha (3,99 milhões de euros).

a donghai securities acredita que,atualmente, a taxa de localização das máquinas de litografia é de apenas 2,5% e a tecnologia de toda a máquina está muito atrás da dos países estrangeiros.no curto prazo de 5 a 10 anos, é crucial focar no desenvolvimento e produção em massa de máquinas de litografia de 90nm e 28nm, por um lado, e por outro lado, focar no desenvolvimento de componentes semicondutores nacionais.

a donghai securities disse que, de acordo com informações da rede internacional de licitações da china, nas licitações de equipamentos semicondutores, a taxa de localização de equipamentos principais, como gravação e deposição, melhorou muito. o principal é que, tecnicamente, as empresas chinesas relevantes gradualmente alcançaram o exterior. empresas em xangai, mas óptica como equipamento principal, a máquina de gravação;a taxa de localização é inferior a 3%, a principal razão é que existe uma grande lacuna entre o fornecimento de componentes e a tecnologia completa da máquina em comparação com o exterior.

no dia 18 de setembro, entre os setores do conceito oriental fortune, o setor de máquinas de fotolitografia (cola) teve uma classificação elevada, com o crescimento geral do setor atingindo 2,47%. entre eles, as ações da tongfei e a wavelength optoelectronics atingiram o limite diário de "20 cm"; além disso, zhangjiang hi-tech, highly holdings, kemet gas, etc. também aumentaram o limite diário.

em 19 de setembro, o conceito de máquinas de litografia continuou ativo. kemet gas e highly technology atingiram seu limite diário, zhangjiang hi-tech aumentou mais de 6%. optoeletrônica de comprimento de onda, jinghua laser, sudavige, etc.

zhangjiang hi-tech atraiu atenção principalmente porque investiu na shanghai microelectronics company. zhangjiang hi-tech declarou na plataforma de troca de investidores em 10 de setembro que a empresa investiu 223 milhões de yuans na shanghai microelectronics company por meio de sua subsidiária shanghai zhangjiang haocheng venture capital co., ltd. e detinha 10,779% do capital da shanghai microelectronics. posteriormente não aumentou as suas participações nem reduziu as suas participações.

dongxing securities disse que entre as empresas nacionais, a shanghai microelectronics é atualmente a primeira e única gigante de máquinas de litografia na china, com remessas representando mais de 80% da participação no mercado doméstico. seus produtos envolvem principalmente os campos arf, krf e i-line. ele já possui capacidade de fabricação de chips de 90nm e abaixo.

em termos de peças de máquinas de fotolitografia, tongfei co., ltd. declarou em seu relatório intermediário de 2023 que seu equipamento de temperatura constante líquida é usado principalmente na área de equipamentos de fabricação de semicondutores para controle de temperatura de equipamentos importantes, como máquinas de fotolitografia, máquinas de gravação e máquinas de lixar e polir.

no entanto, de acordo com o relatório de pesquisa da dongxing securities, os principais componentes da máquina de litografia incluem sistema de fonte de luz, mesa de trabalho dupla, sistema de lentes objetivas, sistema de alinhamento, sistema de exposição, sistema de imersão, sistema de grade, etc. as instalações de apoio incluem fotorresiste, máscara, revelação de cola, etc.

em termos de sistemas de fonte de luz, de acordo com a huajin securities, para fontes de luz quase-laser, keyi hongyuan desenvolve principalmente lasers excimer de 248 nm, lasers excimer secos de 193 nm, etc., a fujing technology desenvolve cristais kbbf.

de acordo com a dongxing securities, a wavelength optoelectronics é o principal fornecedor de componentes ópticos de laser na china. atualmente, a empresa tem a capacidade de fornecer lentes ópticas de grande abertura para máquinas de litografia. o sistema de fonte de luz paralela de máquinas de litografia desenvolvido com sucesso pela empresa pode. ser usado para suporte de campo de máquinas domésticas.

a wavelength optoelectronics também divulgou um registro de atividade do investidor em 15 de setembro de 2023, informando que a empresa está envolvida principalmente em duas áreas na área de semicondutores: uma é a área de produção, ou seja, máquinas de exposição e fotolitografia. a empresa pode fornecer lentes ópticas de grande diâmetro. para detecção, reflexão e projeção, e também pode fornecer sistemas de fonte de luz paralela; o outro é o campo de detecção. a empresa pode fornecer componentes ópticos e componentes para equipamentos de detecção, e também pode personalizar o desenvolvimento e instalação de subsistemas para os clientes.

em termos de sistema de lentes objetivas, dongxing securities disse que a tecnologia de processamento de componentes ópticos de ultra-precisão das lentes objetivas de exposição da máquina de litografia óptica maolai foi industrializada.

de acordo com o relatório de pesquisa da donghai securities,a china importará até 225 máquinas de litografia em 2023, com um valor de importação de 8,754 mil milhões de dólares, o valor das importações atingiu um recorde e espera-se que as máquinas de litografia do meu país dependam principalmente de importações dentro de 3 a 5 anos. uma máquina de fotolitografia avançada tem até 100.000 peças. no geral, a taxa de localização dos componentes semicondutores do meu país é muito baixa. embora empresas estatais relevantes estejam se desenvolvendo em vários setores, ainda há uma grande lacuna entre as empresas estrangeiras. indica que as empresas de componentes nacionais têm maiores oportunidades de desenvolvimento.

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repórter|zhu cheng xiang

editar|||sun zhicheng liang xiao dubois

revisão|ele xiaotao

imagem da capa da visual china (imagem e texto não têm nada a ver com isso)

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