νέα

ειδήσεις "kechuangban daily" 3 σεπτεμβρίου σύμφωνα με τα κορεατικά μέσα theelec, η samsung δοκιμάζει εξοπλισμό δέσμης συστάδων αερίου (gcb) που παρέχεται από την tokyo electronics (tel) προκειμένου να βελτιώσει τη διαδικασία λιθογραφίας της ακραίας υπεριώδους (euv). η tokyo electronics επιβεβαίωσε ότι η εταιρεία συνεργάζεται με πελάτες για να αξιολογήσει την απόδοση του εξοπλισμού για να αποφασίσει εάν θα τον χρησιμοποιήσει σε χυτήρια γκοφρέτας.

οι δημόσιες πληροφορίες δείχνουν ότι η tokyo electronics είναι ένας σημαντικός προμηθευτής εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών, που ασχολείται κυρίως με τη χάραξη, την εναπόθεση και τον καθαρισμό ημιαγωγών.

ο εξοπλισμός που περιλαμβάνεται στη δοκιμή και την αξιολόγηση ονομάζεται acrevia, ο οποίος κυκλοφόρησε τον ιούλιο του τρέχοντος έτους. χρησιμοποιεί μια κατευθυντική δέσμη συστάδας αερίου για να χαράξει τη βέλτιστη γωνία κλίσης της πλακέτας, επιτυγχάνοντας έτσι ακριβή προσαρμογή του κρίσιμου μεγέθους και του σχήματος των μοτίβων λιθογραφίας euv. .

αυτό όχι μόνο βελτιώνει την ακρίβεια των μοτίβων φωτολιθογραφίας, αλλά μειώνει επίσης σημαντικά τον κίνδυνο ζημιάς στην επιφάνεια του πλακιδίου. η tokyo electronics είπε ότι ως εργαλείο διαμόρφωσης σχεδίων, η συσκευή μπορεί να βελτιώσει την τραχύτητα των άκρων του σχεδίου και να μειώσει τα τυχαία ελαττώματα της φωτολιθογραφίας, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση.

η samsung το περιμένειη χρήση εξοπλισμού gcb θα συμβάλει στη μείωση του κόστους των προηγμένων κόμβων. στην πραγματικότητα, όταν ο εξοπλισμός gcb βελτιώσει την απόδοση του πλακιδίου, μπορεί να μειώσει τον αριθμό των μη έγκυρων χρήσεων του εξοπλισμού λιθογραφίας, συμβάλλοντας έτσι στην παράταση της διάρκειας ζωής του εξοπλισμού. η samsung τόνισε επίσης ότι αυτό θα μειώσει τα τυχαία σφάλματα στη διαδικασία επεξεργασίας μοτίβων της τεχνολογίας λιθογραφίας euv λιγότερα σφάλματα σημαίνει χαμηλότερο κόστος.

τα τελευταία χρόνια, με τη συνεχή ανάπτυξη της τεχνολογίας διεργασιών, ο εξοπλισμός λιθογραφίας euv έχει γίνει απαραίτητος εξοπλισμός για όλα τα χυτήρια γκοφρετών, ενώ ακολούθησαν και υψηλές επιβαρύνσεις κόστους. τον μάιο του τρέχοντος έτους, ο ανώτερος αντιπρόεδρος της tsmc zhang xiaoqiang παραπονέθηκε σε ένα τεχνικό σεμινάριο σχετικά με την τελευταία μηχανή λιθογραφίας υπεριώδους υπεριώδους υψηλού αριθμητικού ανοίγματος της asml: «η τιμή είναι πολύ υψηλή».

για να γίνουν τα πράγματα χειρότερα, για να συνεχίσουν να συρρικνώνονται τα σχέδια τσιπ, οι κατασκευαστές τσιπ χρησιμοποιούν συχνά τεχνολογία λιθογραφίας πολλαπλών μοτίβων, η οποία λειτουργεί διαχωρίζοντας ένα σύνθετο μοτίβο μονού στρώματος σε πολλαπλά απλά μοτίβα και εκτελώντας πολλαπλές εκθέσεις σε διαφορετικές μάσκες επιθυμητό μοτίβο.

προκύπτουν προβλήματα αν και η μεγάλης κλίμακας εφαρμογή πολλαπλών σχεδίων συρρικνώνει τον σχεδιασμό, εισάγει επίσης τον κίνδυνο τεχνικών ελαττωμάτων, όπως προβλήματα ευθυγράμμισης και σφαλμάτων στοίβαξης. ενίσχυση και κάθε πρόσθετη έκθεση απαιτεί πρόσθετες μάσκες και περισσότερα εργαλεία λιθογραφίας. με λίγα λόγια,η απόδοση και η παραγωγική ικανότητα των τσιπς γίνονται όλο και χαμηλότερες και το κόστος επιδεινώνεται περαιτέρω。

στο παραπάνω πλαίσιο, διάφοροι κατασκευαστές εξοπλισμού ημιαγωγών έχουν ξεκινήσει ένα κύμα μείωσης του κόστους και βελτίωσης της απόδοσης εκτός από τον εξοπλισμό acrevia gcb της tokyo electron, η applied materials κυκλοφόρησε το σύστημα centura sculpta με παρόμοιες λειτουργίες τον φεβρουάριο του περασμένου έτους και το παρείχε στην intel corporation. .

σύμφωνα με αναφορές εκείνης της εποχής, το σύστημα μπορεί να εξοικονομήσει από τους κατασκευαστές τσιπ τα ακόλουθα κόστη: 1) μπορεί να εξοικονομήσει περίπου 250 εκατομμύρια δολάρια σε κόστος κεφαλαίου όταν παράγει 100.000 γκοφρέτες ανά μήνα. κάθε γκοφρέτα εξοικονομεί περισσότερες από 15 κιλοβατώρες ενέργειας.

επιπλέον, τον φεβρουάριο του τρέχοντος έτους, η applied materials κυκλοφόρησε επίσης έναν νέο εξοπλισμό μέτρησης δέσμης ηλεκτρονίων ειδικά σχεδιασμένο για να μετράει με ακρίβεια τις κρίσιμες διαστάσεις συσκευών ημιαγωγών που χρησιμοποιούν euv και αναδυόμενη τεχνολογία λιθογραφίας high-na euv.

όσον αφορά την είσοδο σε δοκιμαστική αξιολόγηση του εξοπλισμού gcb της tokyo electronics, τα κορεατικά μέσα σχολίασαν: «η αγορά σχεδίων euv κυριαρχείται από applied materials και ο νέος εξοπλισμός της tokyo electronics αποτελεί πρόκληση για αυτήν».