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ほとんどのエレクトロニクスの主要コンポーネントであるPFAS化学物質と半導体の生産者は、高レベルの有毒廃棄物を排出する施設の取り締まりを防ぐことを目的とした、業界に優しい科学の開発に専念するグループを結成したとガーディアン紙が監督していると報じた。

PFASアライアンスと呼ばれるこのグループは、チップ・科学法によって促進された国内半導体生産ブームのさなか設立され、業界の強化を目的とした8,250億ドルの投資につながった。

しかし、専門家らは、このまま放っておけば、半導体ブームによって大量の有毒廃棄物も排出されるのではないかと懸念している。半導体産業は汚染産業であり、規制も監視もされていない有毒なPFAS（「永遠の化学物質」）の主要な発生源であり、その一部は強力な温室効果ガスにも変換されます。

チップス・コミュニティー・ユナイテッドのメンバーであるレニー・シーゲル氏は、「産業から発生する有毒廃棄物が驚くべき速度で増加しているにもかかわらず、ほとんど誰もそのことに注意を払っていません」と述べた。この組織は業界や政府関係者と協力して環境保護対策の開発に努めています。

「次に Google 検索やチャットをするときは、不可逆的な方法で PFAS を環境中に放出する方法で製造されたチップを使用していることになります。」

《ガーディアン紙が入手した2022年の米国生産工場の試験データによると、一部のサンプルの廃水中のPFASレベルは78,000pptにも達していた。いくつかの一般的な化合物に対する EPA の法的制限は 4 ppt です。

公衆衛生擁護者らはますます警鐘を鳴らしており、半導体のPFAS廃棄物を抑制するための簡単な安全策を求める一方で、業界にはより安全な代替品を見つけるよう求めているが、メーカーはすでに行動を起こしている。

政策立案者の間で回覧された連立政権の白書は、規制に反対していると主張した。 「潜在的なPFAS制限の影響」と題した文書の中で、連合はPFAS汚染の存在を認めたが、規制はほとんどなく、廃棄物を監視または制限する提案に反対していると繰り返し強調した。

同論文は、より安全な代替品を見つけることは「場合によっては不可能」であると述べ、代替品を見つけるには「技術進歩を数十年巻き戻す」必要があると付け加えた。

この文書は廃棄物削減に向けた業界の取り組みを称賛しており、業界は「（規制上の）免除が認められれば」自主的に汚染を削減し続けると述べている。

これが議員らの注目を集めたようだ。承認される可能性が高い防衛法案の超党派の修正案は、新規半導体製造プロジェクトを環境審査から免除することになる＊連邦政府の記録によると、PFASアライアンスを組織する業界団体である半導体産業協会がこの法案の制定を求めてロビー活動を行っていた。

半導体産業協会のエグゼクティブディレクター、ローリー・ボー氏は声明で、この提携は「PFASに対する科学に基づいた業界の対応を開発するために必要なデータの収集に取り組む世界中の業界専門家で構成される純粋に技術的な取り組みである」と述べた。方法"。

シーゲル氏は、CHIP法はPFAS汚染を抑制するためのバイデン政権の2021年の包括的計画に矛盾しており、政策立案者は公衆衛生への影響をほとんど無視していると述べた。しかし、マサチューセッツ州のエド・マーキー上院議員を含む米国上院議員のグループは最近、商務省に対し、半導体メーカーに対してより厳しい規制を課すよう求めた。

「国民はこの業界に500億ドル以上を投資しており、有毒化学物質にさらされたり、汚染された空気を吸ったりすることはないと当然期待すべきだ」とマーキー氏は語った。

PFAS は、製品の耐水性、耐汚染性、耐熱性を高めるために一般的に使用される約 15,000 種の化学物質の一種です。これらは自然に分解されず、次のような影響を与えるため、「永遠の化学物質」と呼ばれています。がん、肝臓の問題、甲状腺の問題、先天異常、腎臓病、免疫力の低下、その他の深刻な健康上の問題関連している。

業界文書では、半導体の製造は非常に複雑なプロセスであり、PFAS はフォトリソグラフィーやプラズマ処理など、ナノスケールで 1,000 ものステップで使用される必須成分であると指摘しています。

製造工場は、トリクロロエチレン、ヒ素、クロロホルムなどのさまざまな危険な有毒物質を近くの飲料水や空気中に放出することで有名です。シリコンバレーが米国の「スーパーファンド首都」となった理由は、業界の有害物質問題によるところが大きい。世論の圧力によりテクノロジー企業が海外に工場を開設するよう促されると、その生産活動によりその国の労働者が病気になる。

「これは単なるPFASではありません。非常に汚い業界です」と公衆衛生擁護団体であるグリーンサイエンス政策研究所所長のアーリーン・ブルーム氏は言う。

それでも、民主党のマーク・ケリー上院議員が起草した国防法案の修正案では、半導体生産プロジェクトの環境審査が廃止され、企業は計画中の施設で発生する汚染の種類と量の開示が義務付けられることになる。

環境団体はこの見直しを機会として商務省に対し、まだ法的要件ではないPFAS廃水の監視と処理を義務付けるよう促した。

「これらの植物を規制から除外するのは非常に悪い考えのように思えます」とブルーム氏は付け加えた。

「それは難しい挑戦だ」

チップの製造プロセスでは、PFAS が水と空気中に放出されます。産業界ではさまざまなプロセスでフッ素化ガス (PFAS ガス) が使用されていますが、これらのガスの毒性リスクについてはほとんど知られていません。

しかし、それらが気候に与える影響は明らかです。フッ素化ガスは大気中に放出されると、寿命が 1,000 年以上ある温室効果ガスであるトリフルオロ酢酸に変換されます。近年、研究者らは、空気、水、人間の血液、その他の環境中のトリフルオロ酢酸レベルの増加を懸念するようになりました。

産業は一部のフッ素化ガスを捕捉しますが、これらのガスを破壊することはできません。場合によっては、製造業者がこれらの化学物質を焼却または熱破壊しようとすることもありますが、これでは通常、化合物が完全に除去されるわけではなく、危険な副産物が生成される可能性があります。

「非常に多くの異なる種類のPFASが使用されているため、これは難しい課題です」と、グリーンサイエンス政策研究所の科学および政策アソシエイトであるアリアナ・スペンツォス氏は述べた。 「業界は『焼却は問題ない』と言っていますが、実際は…異なるPFASを排出しているだけだということが分かりました。」

他の業界と同様に、チップメーカーは、最も有毒な 2 つの PFAS 化合物である PFOA と PFOS の使用から、より小規模な代替化学物質の使用に切り替えています。 PFAS アライアンスは、白書の変更を環境管理の証拠として宣伝していますが、代替の PFAS 化学物質も同様に危険であることを示す一連の研究が増えています。

シーゲル氏はこう指摘した。PFBS は工業廃水に含まれる一般的な代替化合物で、毒性は比較的低いものの、他のほとんどの規制物質に比べて毒性は依然として強いです。

一部のチップメーカーは、回収した PFAS を有害廃棄物施設に出荷しています。しかし、深井戸注入施設は漏れが発生しやすく、他の貨物は最終的に焼却炉に送られ、そこで化学物質が周囲の環境に放出されるだけです。

だからこそ、公衆衛生の擁護者たちは廃棄物管理ではなく、PFASに代わる代替策を求めているのだとシーゲル氏は語った。

「彼らはPFASを認可された治療施設に搬送したいと考えていますが、私の理解では、さらなるデータがなければ、彼らはそれを有色人種のコミュニティに送って焼却することになり、有毒な副産物が生じる可能性がある」と彼は付け加えた。

半導体メーカー、規制撤廃を議会に働きかける

PFAS アライアンスのチップメーカーは主に、メーカーに代わって立法や規制との戦いを戦う業界団体である半導体産業協会に所属しています。

文書によると、台湾の多国籍企業であるチップメーカーTSMCは、業界団体の会員権に年間約16万ドル、同盟の会員権に年間約5万ドルを支払っている。連邦選挙の記録には、半導体産業協会が昨年、PFASアライアンスの科学を利用して、PFAS規制を回避する業界の主張を強調するために、議会とバイデン政権に対するロビー活動に約150万ドルを費やした経緯が詳述されている。

今年は、環境審査を廃止する国防法案のロビー活動も含め、その数はこれをはるかに上回ると予想されている。

シーゲル氏は「同盟はこうした措置に断固反対している」と述べ、業界は代替策を模索している一方で、「生産に影響を与えずに何ができるかを模索している」と付け加えた。

同コンソーシアムのベウ氏は声明で、個々のメンバーのロビー活動の実践についてはコメントできないと述べた。

「私たちは、PFASの追跡と削減、代替品の利用可能性、排出量をさらに削減する技術の開発に対する業界の取り組みをサポートするために必要なツールを提供することに引き続き取り組んでいます」と彼女は述べた。

連合は白書の中で、製造プロセスの一部からPFASを除去するには数年、場合によっては数十年かかり、一部の化学物質は除去できない可能性があるとも主張している。

それは事実かもしれないとスポンゾス氏は、「しかし、座して見ているわけにはいかない」が、代替案の研究開発を強化する必要があると述べた。同氏は、マサチューセッツ大学が2022年にハイテク材料メーカーのトランセンと協力して、半導体エッチングプロセスにおけるPFASの代替品の開発を迅速かつ成功させる予定であると述べた。

「彼らは本当にイノベーションを起こし、PFASに代わるより安全な代替品を作らなければならなかった…しかし、これは彼らが予想していたよりもはるかに短い時間で済む良い例だ」とスペンツォス氏は語った。