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最近起きた現象で、私は深く考えさせられ、恐怖を感じました。

まず、一昨日自分のビデオ アカウントをチェックしていたとき、wechat がリソグラフィー マシンに関する短いビデオをプッシュしてくれました。このビデオアカウントの所有者は叔母で、夫婦の年齢の合計は110歳を超えています。ビデオアカウントの内容は主にwenjie m9でのさまざまな場所の自動運転ツアーに関するものです。退職した50歳を超えた叔母が、突然工業情報化省のミニマリストカタログを使ってリソグラフィー機について話したところ、あまりの興奮に涙があふれたと主張した。

なぜビデオアカウントが自動運転の退職した叔母にリソグラフィー機について教えろと押し付けてくるのでしょうか?

その後、昨夜、wechat 上の友人数人が私にフォームを送ってきて、国産のリソグラフィー機械についてどう思うか尋ねてきました。

最後に、今日、大勢の人がリソグラフィー機に関するさまざまな記事を wechat モーメントに転送しました。

歴史教科書やさまざまな支配階級メディアのプロパガンダは、「人民こそが歴史の創造者である」と主張している。この主張の正しさを保証しなければならないとしたら、これは事実ではなく願望であるとしか言えません。

目に見えない力が現代のテクノロジー手段を使ってグループの思想に影響を与えています。合理的な人にとって、どうすれば影響を受けずにすむでしょうか?難易度は増しており、これまで以上に独立した思考力と論理的能力が求められます。しかし、悪い現実は、簡体字中国語メディアでは、個人がどれほど合理的であっても、依然として受動的に養われるという厄介な立場にあるということです。たとえこれらの資料が事実であっても、それは包括的な事実ではなく、選択的な事実です。

ある意見が正しいかどうかは、それを持っている人の数とは関係がありません。判断を放棄し、真実を追求することがあなたがすべきことです。

これに関して、工業情報化部の wechat 公開アカウント「産業情報微宝」は、「主要技術設備の最初（セット）の普及と適用に関する指導カタログ（2024 年版）」の最も早いリリースを発行しました。 9月9日。具体的な内容は以下の通りです。

各省、自治区、中央直轄市、国家個別計画都市、新疆生産建設兵団の工業技術部門、情報技術部門および関連中央企業：

最初の（セット）主要技術機器の革新的な開発、促進および応用を促進し、産業、金融、財政、科学技術などの国家支援政策の調整を強化するために、「技術機器の促進および応用のためのガイダンスカタログ」 「初（一式）主要技術設備（2024年版）」を発行いたしますので、それに応じて作業を行ってください。

工業情報化省

2024 年 9 月 2 日

これは非常に長いカタログで、電子特殊機器を含む 13 の第 1 レベルのカタログ、集積回路装置を含む数十の第 2 レベルのカタログ、およびアルゴンフッ化物リソグラフィー装置を含む第 3 レベルのカタログが数百あります。 、以下の図に示すように:

特別な強調もなく何百ものデバイスに配置され、これは「叫ぶ」に値する非常に顕著なカテゴリーであるとは言い難い。さまざまなセルフメディアで宣伝されるのは偶然ではありません。その背後には巨大な手が隠されており、その意図は優しくないのかもしれない。。

から「真剣さ、客観性、誠実さ」の価値観を貫くテクノロジーセルフメディア、そうすべきだと思います社会にとって価値のあることをするもの。

まず、フッ化アルゴンの化学式はarfです。 arf は、波長 193nm のレーザー光を生成するために使用されるレーザー光源です。

露光機粗いものから細かいものへの精度の順序は、g 線、i 線、krf、arf、euv です。、以下に示すように。

光路媒体（空気または水）に応じたarf、arf dryにも分けられます（乾式法、媒体は空気）そしてarfi(湿式法、i=浸漬、媒体は水)。水の屈折率は1.33なので、空気中で波長193nmの光は水に入ると193/1.33=145nmとなり、波長が短くなり精度が高くなります。それでarfi は arf dry よりも先進的であると考えられます。それでasml の最新の四半期財務報告書は、以下に示すように、i-line、krf、arf dry、arfi、euv の精度の順に分類されています。。 (asml の詳細については、7 月に書いた公開アカウントの記事「リソグラフィー装置、あなたが考える asml、そして実際の asml」を参照してください)

asml レポートによると、次のことがわかります。世界のリソグラフィー装置の主な需要 (80% 以上) は euv と arfi です。、そしてarf dry、krf、i ラインはいずれも比較的ローエンドのリソグラフィー装置です。。

arf dry（乾式法）とarfi（湿式法）アプリケーションの分かれ目は65nmプロセス。前述の乾式法と湿式法による波長の違いに加え、アプリケーションの違いにつながる非常に重要な違いは、複数のフォトリソグラフィー法を使用するかどうかです（複数の方法を使用することでプロセス精度が向上します）。

arfi が何層のフォトリソグラフィーに耐えられるかについては、各フォトリソグラフィーの精度に依存します。これは、工業情報化部の上の表のオーバーレイ指数です。 しかし、率直に言って、8nmのオーバーレイ精度は特に優れているわけではありません。。一般的に言えばオーバーレイ精度が 4nm であれば、28nm プロセスを使用しても大きな問題はありません。。しかし8nm オーバーレイ精度で 28nm を実行すると、重大なパフォーマンス上の問題が発生する可能性があります。

なぜなら、フィーチャーサイズが小さくなるにつれて、チップ内の層の数は一般的に増加し続けるからです。登録エラーは複数のレベルにわたって蓄積される可能性があります。これらの誤差が積み重なると、全体的なバイアスが大きくなる可能性があります。たとえば、28nm の層の数が 64 で、10nm の層の数が 128 である場合、128 層の方がレジストレーション エラーの蓄積が大きくなります。

では、なぜ登録エラーが発生するのでしょうか？

1. フォトマスクは製造工程上、若干の寸法誤差が生じる場合があり、その結果、ウェハ上の位置決めマークとの一致が不完全になる場合があります。ウェハの位置決めと同様に、マスクもリソグラフィー装置上で正確に位置決めされる必要があります。マークの位置決めのエラー、機械的エラー、またはオペレーターのエラーにより、マスクの位置合わせの問題が発生する可能性があります。

2. ウェーハは処理中にねじれたり曲がったりする可能性があり、ウェーハ内のチップ構造が膨張または収縮する可能性があります。この歪みにより、同じパターンでもウェーハ上の異なる位置で異なるレジストレーション エラーが発生する可能性があります。

3. リソグラフィー装置自体の性能制限。さまざまなリソグラフィー装置メーカー、露光機のオーバーレイ（つまりテーブル内のオーバーレイ）も異なります。。一般に、オーバーレイが小さいほど、解像度は高くなり、焦点深度は深くなり、機器はより高価になります。

つまり、「第1回（セット）主要技術機器普及・応用指導カタログ（2024年版）」の2.1.6フッ化アルゴン露光装置です。涙を流すほどの先進的な装備ではありません。, 露光機関連製造企業の道のりはまだまだ遠い。

客観的に見て、国内のリソグラフィー装置と asml とのギャップは依然として大きい (上記の asml レポート表ですべてを説明できます)。asml の high n/a euv リソグラフィ装置の量が増加するにつれて、この差はさらに拡大し続けています。

国内の露光装置業界ではなぜこれほど大きな差があり、他の装置と比べて横のコントラストが歴然としているのでしょうか。根本的な原因は国内の露光機業界の仕組みの問題だと思います。

現在の世界のリソグラフィー装置市場の競争環境は、asml、ニコン、キヤノンの 3 社が市場シェアの 99% を占めており、その中で asml が市場シェアの 82.14% を占め、絶対的な優位性を持っているだけではありません。 shang geng は売上収益において圧倒的な地位を占めていますが、技術面でも圧倒的なリーダーです。対照的に、中国では国産フォトリソグラフィー装置の自給率は1%未満であり、これが半導体産業チェーンの中で最も低い自給率につながっている。半導体産業の最も中核で、最も重要で、最も複雑なリンクの自治率は非常に低く、これは最大の製造国としての我が国の地位に完全に矛盾しています。

唯一大きな期待を寄せられている上海微電子設備会社が、なぜ20年経ってもその役割を果たせないのだろうか。上海マイクロエレクトロニクスには技術、資金、人材、付属品、管理が不足していると言う人もいます。これらの理由は合理的に聞こえるかもしれませんが、本質ではなく単なる見た目とレトリックにすぎないと思います。上海マイクロエレクトロニクスの開発モデルには根本的に問題がある。

上海マイクロエレクトロニクス設備の評価メカニズムは、市場指向のメカニズムではなく、プロジェクトベースの科学研究アプローチを採用しています。科学研究は専門家によるレビューメカニズムを採用しており、経済性や規模を無視して製品の画期的な進歩に焦点を当てていますが、これは業界チェーンの下流の顧客にはあまり利益をもたらしません。また、規模が不十分であるため、業界チェーンの上流のサプライヤーにも利益が得られません。過去20年間、国は多額の財政支援を投資してきたようですが、産業チェーンの良好な生態系は形成されていません。したがって、中国のリソグラフィー装置の以前の開発モデルには根本的に問題がありました。

私は思う、最終的な解決策は市場化だけ、民間のリソグラフィー装置会社の参加を許可および奨励し、市場ベースの方法を真に維持し、安定的に反復できるリソグラフィー装置会社および支援産業チェーン企業に報酬を与えます。

文明の進歩には 2 つの手段しかありません。科学技術の進歩 + 自由で開かれた市場です。しかし、科学技術の進歩は密室で達成されるものではなく、自由で開かれた市場に基づいていなければなりません。

鉄は鋼にはなれないというため息がありますが、挑戦を喜んで受け入れ、成功後の報酬を享受できると信じている戦士たちは、実際には一人ではありません。単独で戦っていますが、業界チェーンの上流と下流はすべて協力しています。私たちは今後もそれらに頼らなければなりません。これは推測ではありません。名前が付いているものはほんのわずかです。