νέα

η αυτογνωσία και η αυτογνωσία των μηχανών λιθογραφίας έχουν τις ρίζες τους στον βιομηχανικό μηχανισμό

2024-09-16

한어Русский языкEnglishFrançaisIndonesianSanskrit日本語DeutschPortuguêsΕλληνικάespañolItalianoSuomalainenLatina

ένα πρόσφατο φαινόμενο με έκανε να σκεφτώ βαθιά και με φρίκαρε.

πρώτον, όταν έλεγχα τον λογαριασμό βίντεο μου προχθές, το wechat μου έδωσε ένα σύντομο βίντεο σχετικά με τις μηχανές λιθογραφίας. ο κάτοχος αυτού του λογαριασμού βίντεο είναι μια θεία και η συνολική ηλικία του ζευγαριού είναι άνω των 110 ετών.μια συνταξιούχος θεία που ήταν πάνω από πενήντα χρονών χρησιμοποίησε ξαφνικά έναν μινιμαλιστικό κατάλογο από το υπουργείο βιομηχανίας και πληροφορικής για να μιλήσει για μηχανές λιθογραφίας ήταν τόσο ενθουσιασμένη που ισχυρίστηκε ότι είχε δάκρυα στα μάτια.

γιατί ο λογαριασμός βίντεο με ωθεί μια αυτόνομη συνταξιούχο θεία να με διδάξει για μηχανές λιθογραφίας;

αργότερα, αρκετοί φίλοι του wechat στο wechat μου έστειλαν μια φόρμα χθες το βράδυ και με ρώτησαν τι γνώμη έχω για τις εγχώριες μηχανές λιθογραφίας;

τέλος, σήμερα, ένα σωρό άτομα προώθησαν διάφορα άρθρα σχετικά με τις μηχανές λιθογραφίας στο wechat moments.

τα σχολικά βιβλία ιστορίας και οι διάφορες προπαγάνδα των μέσων ενημέρωσης της άρχουσας τάξης ισχυρίζονται: «οι άνθρωποι είναι οι δημιουργοί της ιστορίας». εάν πρέπει να διασφαλίσουμε την ορθότητα αυτού του ισχυρισμού, μπορούμε μόνο να πούμε ότι αυτό είναι μια ευχή και όχι ένα γεγονός.

μια αόρατη δύναμη χρησιμοποιεί σύγχρονα τεχνολογικά μέσα για να επηρεάσει τις σκέψεις της ομάδας.για ένα λογικό άτομο, πώς να μην επηρεαζόμαστε; η δυσκολία αυξάνεται και απαιτεί περισσότερη ανεξάρτητη σκέψη και λογική ικανότητα από πριν. αλλά η κακή πραγματικότητα είναι ότι στα απλοποιημένα κινεζικά μέσα, όσο λογικό κι αν είναι ένα άτομο, εξακολουθεί να βρίσκεται στη δύσκολη θέση να τρέφεται παθητικά. ακόμα κι αν αυτά τα υλικά είναι γεγονότα, είναι επιλεκτικά γεγονότα παρά περιεκτικά γεγονότα.

το αν μια γνώμη είναι σωστή ή όχι δεν έχει να κάνει με τον αριθμό των ανθρώπων που την έχουν.το να εγκαταλείψετε την κρίση και να κυνηγήσετε την αλήθεια είναι αυτό που πρέπει να κάνετε.

σχετικά με αυτό, η πρώτη έκδοση του "κατάλογος καθοδήγησης για την προώθηση και εφαρμογή του πρώτου (σετ) κύριου τεχνικού εξοπλισμού (έκδοση 2024)" εκδόθηκε από τον δημόσιο λογαριασμό wechat του υπουργείου βιομηχανίας και πληροφορικής "industry information weibao" στις 9 σεπτεμβρίου. τα συγκεκριμένα περιεχόμενα έχουν ως εξής:

τα τμήματα βιομηχανικής και πληροφορικής όλων των επαρχιών, των αυτόνομων περιοχών, των δήμων που υπάγονται απευθείας στην κεντρική κυβέρνηση, των πόλεων υπό χωριστό κρατικό σχεδιασμό και του σώματος παραγωγής και κατασκευών xinjiang και σχετικές κεντρικές επιχειρήσεις:

προκειμένου να προωθηθεί η καινοτόμος ανάπτυξη, προώθηση και εφαρμογή του πρώτου (σετ) σημαντικού τεχνικού εξοπλισμού και να ενισχυθεί ο συντονισμός των εθνικών πολιτικών υποστήριξης όπως η βιομηχανία, τα οικονομικά, τα οικονομικά, η επιστήμη και η τεχνολογία, ο «κατάλογος καθοδήγησης για την προώθηση και εφαρμογή του the first (set) major technical equipment (έκδοση 2024)" 》εκδόθηκε σε εσάς, παρακαλούμε να κάνετε τις σχετικές εργασίες ανάλογα.

υπουργείο βιομηχανίας και πληροφορικής

2 σεπτεμβρίου 2024

αυτός ο κατάλογος είναι πολύ μεγάλος. υπάρχουν 13 κατάλογοι πρώτου επιπέδου, συμπεριλαμβανομένου ηλεκτρονικού ειδικού εξοπλισμού, δεκάδες καταλόγους δεύτερου επιπέδου, συμπεριλαμβανομένου του εξοπλισμού ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, και καταλόγους τρίτου επιπέδου, συμπεριλαμβανομένων των μηχανημάτων λιθογραφίας αργού , όπως φαίνεται στο παρακάτω σχήμα:

τοποθετούνται σε εκατοντάδες συσκευές χωρίς ιδιαίτερη έμφαση,είναι δύσκολο να πούμε ότι πρόκειται για μια πολύ εξέχουσα κατηγορία άξια «να φωνάξουμε».το να διαφημίζεσαι από διάφορα αυτομέσα δεν είναι τυχαίο.υπάρχει ένα τεράστιο χέρι κρυμμένο πίσω από αυτό και οι προθέσεις του μπορεί να μην είναι ευγενικές.

έξω από ένατεχνολογικά αυτομέσα που τηρούν τις αξίες της «σοβαρότητας, αντικειμενικότητας και ακεραιότητας», νομίζω ότι πρέπεικάντε κάτι πολύτιμο για την κοινωνίαπράγμα.

πρώτα απ 'όλα, ο χημικός τύπος του φθοριούχου αργού είναι arf. το arf είναι μια πηγή λέιζερ που χρησιμοποιείται για τη δημιουργία φωτός λέιζερ με μήκος κύματος 193 nm.

μηχανή λιθογραφίαςη σειρά ακρίβειας από το χοντρό στο λεπτό είναι: g-line, i-line, krf, arf, euv, όπως φαίνεται παρακάτω.

arf σύμφωνα με το μέσο οπτικής διαδρομής (αέρας ή νερό),μπορεί επίσης να χωριστεί σε arf dry(ξηρή μέθοδος, το μέσο είναι αέρας)και arfi(υγρή μέθοδος, i=εμβύθιση, το μέσο είναι το νερό). επειδή ο δείκτης διάθλασης του νερού είναι 1,33, το μήκος κύματος του φωτός με μήκος κύματος 193nm στον αέρα θα γίνει 193/1,33=145nm κατά την είσοδο στο νερό το μήκος κύματος γίνεται μικρότερο και η ακρίβεια γίνεται μεγαλύτερη. έτσιτο arfi μπορεί να θεωρηθεί πιο προηγμένο από το arf dry. έτσιη τελευταία τριμηνιαία οικονομική έκθεση της asml ταξινομείται με σειρά ακρίβειας: i-line, krf, arf dry, arfi, euv, όπως φαίνεται παρακάτω. (για περισσότερες λεπτομέρειες σχετικά με το asml, ανατρέξτε στο άρθρο του δημόσιου λογαριασμού που έγραψα τον ιούλιο: μηχανή λιθογραφίας, το asml που νομίζετε και το πραγματικό asml)

σύμφωνα με την έκθεση asml, φαίνεται ότιη κύρια ζήτηση για παγκόσμιες μηχανές λιθογραφίας (πάνω από 80%) είναι σε euv και arfi,καιτα arf dry, krf και i line είναι όλα σχετικά χαμηλού επιπέδου μηχανές λιθογραφίας.

arf dry (ξηρή μέθοδος) και arfi (υγρή μέθοδος)η διαχωριστική γραμμή εφαρμογής είναι η διαδικασία των 65 nm. εκτός από τη διαφορά μήκους κύματος που προκαλείται από τις ξηρές και υγρές μεθόδους που αναφέρονται παραπάνω, μια πολύ σημαντική διαφορά που οδηγεί σε διαφορές εφαρμογής έγκειται στο αν χρησιμοποιούνται πολλαπλές μέθοδοι φωτολιθογραφίας (πολλαπλές μέθοδοι μπορούν να βελτιώσουν την ακρίβεια της διαδικασίας).

όσο για το πόσες στρώσεις φωτολιθογραφίας μπορεί να αντέξει το arfi, εξαρτάται από την ακρίβεια κάθε φωτολιθογραφίας, που είναι ο δείκτης επικάλυψης στον παραπάνω πίνακα του υπουργείου βιομηχανίας και πληροφορικής. αλλά ειλικρινά μιλώντας, η ακρίβεια επικάλυψης των 8 nm δεν είναι ιδιαίτερα εξαιρετική.. γενικά μιλώνταςμε ακρίβεια επικάλυψης 4 nm, δεν είναι μεγάλο πρόβλημα η χρήση διαδικασίας 28 nm.. αλλάη εκτέλεση 28nm με ακρίβεια επικάλυψης 8nm μπορεί να προκαλέσει σοβαρά προβλήματα απόδοσης

επειδή όσο μειώνεται το μέγεθος του χαρακτηριστικού, ο αριθμός των επιπέδων στο τσιπ θα συνεχίσει γενικά να αυξάνεται.τα σφάλματα εγγραφής μπορούν να συσσωρευτούν σε πολλά επίπεδα. αυτά τα σφάλματα μπορεί να αθροιστούν, με αποτέλεσμα μεγαλύτερη συνολική προκατάληψη. για παράδειγμα, εάν ο αριθμός των επιπέδων των 28 nm είναι 64 και ο αριθμός των στρώσεων των 10 nm είναι 128, τότε 128 επίπεδα θα έχουν μεγαλύτερη συσσώρευση σφαλμάτων εγγραφής.

γιατί λοιπόν παρουσιάζεται σφάλμα εγγραφής;

1. η φωτομάσκα ενδέχεται να έχει μικρές αποκλίσεις στις διαστάσεις κατά τη διαδικασία κατασκευής, οι οποίες μπορεί να έχουν ως αποτέλεσμα την ατελή αντιστοίχιση με τα σημάδια τοποθέτησης στη γκοφρέτα. όπως η τοποθέτηση γκοφρέτας, η μάσκα πρέπει επίσης να τοποθετηθεί με ακρίβεια στη μηχανή λιθογραφίας. σφάλματα στα σημάδια τοποθέτησης, μηχανικά σφάλματα ή σφάλματα χειριστή μπορεί να προκαλέσουν προβλήματα ευθυγράμμισης μάσκας.

2. η γκοφρέτα μπορεί να συστραφεί ή να λυγίσει κατά την επεξεργασία και η δομή του τσιπ μέσα σε αυτό μπορεί να διαστέλλεται ή να συστέλλεται. αυτή η παραμόρφωση μπορεί να προκαλέσει το ίδιο μοτίβο να έχει διαφορετικά σφάλματα εγγραφής σε διαφορετικές θέσεις στη γκοφρέτα.

3. οι περιορισμοί απόδοσης του ίδιου του λιθογραφικού εξοπλισμού. διαφορετικοί κατασκευαστές λιθογραφικού εξοπλισμού,διαφορετική είναι και η επικάλυψη του φωτολιθογραφικού μηχανήματος (δηλαδή η επικάλυψη στον πίνακα).. σε γενικές γραμμές, όσο μικρότερη είναι η επικάλυψη, τόσο μεγαλύτερη είναι η ανάλυση, τόσο μεγαλύτερο είναι το βάθος εστίασης και τόσο πιο ακριβός είναι ο εξοπλισμός.

εν ολίγοις, τόσο πολύ, είναι το μηχάνημα λιθογραφίας φθοριούχου αργού 2.1.6 στον "πρώτο (σετ) κύριο κατάλογο προώθησης τεχνικού εξοπλισμού και καθοδήγησης εφαρμογών (έκδοση 2024)"δεν είναι ένα προηγμένο κομμάτι εξοπλισμού που αξίζει να δακρύσετε., οι εταιρείες κατασκευής μηχανημάτων λιθογραφίας έχουν ακόμη πολύ δρόμο να διανύσουν.

αντικειμενικά μιλώντας, το χάσμα μεταξύ οικιακών μηχανών λιθογραφίας και asml είναι ακόμα τεράστιο (το παραπάνω διάγραμμα αναφοράς asml μπορεί να εξηγήσει τα πάντα) καικαθώς τα μηχανήματα λιθογραφίας high n/a euv της asml αυξάνονται σε όγκο, αυτό το χάσμα εξακολουθεί να διευρύνεται.

όσο για το γιατί υπάρχει τόσο μεγάλο κενό στην εγχώρια βιομηχανία μηχανών λιθογραφίας και η αντίθεση είναι τόσο εμφανής όταν συγκρίνεται οριζόντια με άλλο εξοπλισμό;νομίζω ότι η βασική αιτία είναι το πρόβλημα του μηχανισμού της εγχώριας βιομηχανίας μηχανών λιθογραφίας.

το σημερινό ανταγωνιστικό τοπίο της παγκόσμιας αγοράς μηχανών λιθογραφίας: η asml, η nikon και η canon είναι οι τρεις κύριοι προμηθευτές που καταλαμβάνουν το 99% του μεριδίου αγοράς κυρίαρχος παίκτης στα έσοδα από τις πωλήσεις, αλλά και από την άποψη της τεχνολογικής ηγετικής θέσης, ο σανγκ γκενγκ είναι ο απόλυτος κυρίαρχος. αντίθετα, στην κίνα, το ποσοστό αυτάρκειας των εγχώριων μηχανημάτων φωτολιθογραφίας είναι μικρότερο από 1%, που είναι ο σύνδεσμος με το χαμηλότερο ποσοστό αυτάρκειας στην αλυσίδα της βιομηχανίας ημιαγωγών. ο πιο βασικός, ο πιο σημαντικός και ο πιο περίπλοκος σύνδεσμος στη βιομηχανία ημιαγωγών έχει τόσο χαμηλό ποσοστό αυτονομίας, το οποίο είναι εντελώς ασυνεπές με το καθεστώς της χώρας μου ως της μεγαλύτερης κατασκευαστικής χώρας.

γιατί η shanghai microelectronics equipment company, η μόνη εταιρεία με μεγάλες ελπίδες, εξακολουθεί να μην μπορεί να αναλάβει το ρόλο μετά από είκοσι χρόνια; μερικοί άνθρωποι λένε ότι η shanghai microelectronics στερείται τεχνολογίας, κεφαλαίων, ταλέντων, αξεσουάρ και διαχείρισης. αυτοί οι λόγοι μπορεί να ακούγονται λογικοί, αλλά νομίζω ότι είναι απλώς εμφανίσεις και ρητορική παρά ουσία. το μοντέλο ανάπτυξης της shanghai microelectronics είναι θεμελιωδώς προβληματικό.

ο μηχανισμός αξιολόγησης του shanghai microelectronics equipment υιοθετεί μια προσέγγιση επιστημονικής έρευνας που βασίζεται σε έργα και όχι έναν μηχανισμό προσανατολισμένο στην αγορά. η επιστημονική έρευνα υιοθετεί έναν μηχανισμό αναθεώρησης από εμπειρογνώμονες και εστιάζει στις ανακαλύψεις των προϊόντων, ενώ αγνοεί την οικονομία και την κλίμακα. αυτό δεν ωφελεί πραγματικά τους πελάτες της αλυσίδας παραγωγής. φαίνεται ότι τις δύο τελευταίες δεκαετίες, η χώρα έχει επενδύσει μεγάλη οικονομική στήριξη, αλλά δεν έχει διαμορφωθεί μια καλή οικολογία της βιομηχανικής αλυσίδας. ως εκ τούτου, το προηγούμενο μοντέλο ανάπτυξης των μηχανών λιθογραφίας της κίνας ήταν θεμελιωδώς προβληματικό.

νομίζω,η μόνη τελική λύση είναι η εμπορευματοποίηση, επιτρέποντας και ενθαρρύνοντας ιδιωτικές εταιρείες μηχανών λιθογραφίας να συμμετέχουν και επιβραβεύοντας αυτές τις εταιρείες μηχανών λιθογραφίας και υποστηρίζοντας εταιρείες αλυσίδας βιομηχανίας που μπορούν πραγματικά να διατηρήσουν και να επαναλάβουν σταθερά μέσω μεθόδων που βασίζονται στην αγορά.

υπάρχουν μόνο δύο μέσα προόδου του πολιτισμού: επιστημονική και τεχνολογική πρόοδος + ελεύθερη και ανοιχτή αγορά.ωστόσο, η επιστημονική και τεχνολογική πρόοδος δεν μπορεί να πραγματοποιηθεί κεκλεισμένων των θυρών, αλλά πρέπει επίσης να βασίζεται σε μια ελεύθερη και ανοιχτή αγορά.

αν και υπάρχει ένας αναστεναγμός ότι το σίδερο δεν μπορεί να γίνει ατσάλι, πιστεύω ότι εκείνοι οι πολεμιστές που είναι πρόθυμοι να δεχτούν την πρόκληση και πιστεύουν ότι θα απολαύσουν τις ανταμοιβές μετά την επιτυχία, στην πραγματικότητα, δεν είναι μόνοι μάχονται μόνοι τους, αλλά είναι όλα πάνω-κάτω στην αλυσίδα της συνεργασίας.πρέπει ακόμα να βασιστούμε σε αυτά στο μέλλον. αυτό δεν είναι εικασίες.