berita

한어Русский языкEnglishFrançaisIndonesianSanskrit日本語DeutschPortuguêsΕλληνικάespañolItalianoSuomalainenLatina

fenomena baru-baru ini membuat saya berpikir keras dan membuat saya ngeri.

pertama, ketika saya memeriksa akun video saya kemarin lusa, wechat memberi saya video pendek tentang mesin litografi. pemilik akun video ini adalah seorang bibi, dan gabungan usia pasangan tersebut adalah di atas 110 tahun. konten akun video tersebut sebagian besar berisi tentang tur self-driving di berbagai tempat di wenjie m9.seorang pensiunan bibi yang berusia di atas lima puluh tahun tiba-tiba menggunakan katalog minimalis dari kementerian perindustrian dan teknologi informasi untuk berbicara tentang mesin litografi, ia begitu bersemangat hingga mengaku menitikkan air mata.

mengapa akun video tersebut mendorong saya, seorang bibi pensiunan yang mengemudi sendiri, untuk mengajari saya tentang mesin litografi?

belakangan, beberapa teman wechat di wechat mengirimi saya formulir tadi malam dan menanyakan pendapat saya tentang mesin litografi dalam negeri?

akhirnya, hari ini banyak orang yang meneruskan berbagai artikel tentang mesin litografi di wechat moments.

buku teks sejarah dan berbagai propaganda media kelas penguasa menyatakan: "rakyat adalah pencipta sejarah." jika kita harus memastikan kebenaran pernyataan ini, kita hanya bisa mengatakan bahwa ini hanyalah sebuah harapan dan bukan fakta.

sebuah kekuatan tak kasat mata menggunakan sarana teknologi modern untuk mempengaruhi pemikiran kelompok tersebut.bagi individu yang rasional, bagaimana kita tidak terpengaruh? kesulitannya semakin meningkat dan membutuhkan pemikiran yang lebih mandiri dan kemampuan logis dibandingkan sebelumnya. namun kenyataan buruknya adalah bahwa di media tiongkok sederhana, tidak peduli seberapa rasional seseorang, ia masih berada dalam posisi yang canggung karena diberi makan secara pasif. sekalipun materi tersebut merupakan fakta, namun materi tersebut merupakan fakta selektif dan bukan fakta komprehensif.

benar atau tidaknya suatu pendapat tidak ada hubungannya dengan jumlah orang yang menganutnya.berhenti menghakimi dan mengejar kebenaran adalah hal yang harus anda lakukan.

mengenai hal ini, rilis paling awal dari "katalog panduan untuk promosi dan penerapan (set) peralatan teknis utama pertama (edisi 2024)" dikeluarkan oleh akun publik wechat kementerian perindustrian dan teknologi informasi "informasi industri weibao" di 9 september. isi spesifiknya adalah sebagai berikut:

departemen industri dan teknologi informasi di semua provinsi, daerah otonom, kotamadya yang berada langsung di bawah pemerintah pusat, kota-kota di bawah perencanaan negara bagian yang terpisah, dan korps produksi dan konstruksi xinjiang, dan perusahaan pusat terkait:

untuk mendorong pengembangan inovatif, promosi dan penerapan peralatan teknis utama (set) pertama dan memperkuat koordinasi kebijakan pendukung nasional seperti industri, keuangan, keuangan, ilmu pengetahuan dan teknologi, "katalog panduan untuk promosi dan penerapan (set) peralatan teknis utama pertama (edisi 2024)" 》 dikeluarkan untuk anda, harap lakukan pekerjaan yang relevan.

kementerian perindustrian dan teknologi informasi

2 september 2024

ini adalah katalog. katalognya sangat panjang. terdapat 13 katalog tingkat pertama termasuk peralatan khusus elektronik, puluhan katalog tingkat kedua termasuk peralatan sirkuit terpadu, dan katalog tingkat ketiga termasuk mesin litografi argon fluorida , seperti yang ditunjukkan pada gambar di bawah ini:

ditempatkan di ratusan perangkat tanpa penekanan khusus,sulit untuk mengatakan bahwa ini adalah kategori yang sangat menonjol yang layak untuk "menangis".dihebohkan oleh berbagai media mandiri bukanlah suatu kebetulan.ada tangan besar yang tersembunyi di baliknya, dan niatnya mungkin tidak baik.。

keluar dari amedia mandiri teknologi yang menganut nilai-nilai “keseriusan, objektivitas, dan integritas”, menurutku seharusnya begitulakukan sesuatu yang berharga bagi masyarakatbenda.

pertama-tama, rumus kimia argon fluorida adalah arf. arf merupakan sumber laser yang digunakan untuk menghasilkan sinar laser dengan panjang gelombang 193nm.

mesin litografiurutan ketelitian dari kasar hingga halus adalah: g-line, i-line, krf, arf, euv, seperti yang ditunjukkan di bawah ini.

arf menurut media jalur optik (udara atau air),itu juga dapat dibagi menjadi arf kering(metode kering, medianya adalah udara)dan arfi(metode basah, i=perendaman, medianya air). karena indeks bias air adalah 1,33, maka panjang gelombang cahaya dengan panjang gelombang 193nm di udara akan menjadi 193/1,33=145nm saat masuk ke dalam air. jadiarfi bisa dibilang lebih canggih dibandingkan arf dry. jadilaporan keuangan triwulanan terbaru asml diklasifikasikan berdasarkan keakuratan: i-line, krf, arf dry, arfi, euv, seperti gambar di bawah ini. (untuk detail lebih lanjut tentang asml, silakan merujuk ke artikel akun publik yang saya tulis pada bulan juli: mesin litografi, asml menurut anda, dan asml sebenarnya)

berdasarkan laporan asml terlihat hal tersebutpermintaan utama mesin litografi global (lebih dari 80%) adalah euv dan arfi,dangaris arf dry, krf, dan i semuanya merupakan mesin litografi yang relatif low-end.。

arf dry (metode kering) dan arfi (metode basah)garis pemisah aplikasi adalah proses 65nm. selain perbedaan panjang gelombang yang disebabkan oleh metode kering dan basah yang disebutkan di atas, perbedaan yang sangat penting yang menyebabkan perbedaan penerapan terletak pada penggunaan beberapa metode fotolitografi (beberapa metode dapat meningkatkan akurasi proses).

adapun berapa banyak lapisan fotolitografi yang dapat ditahan oleh arfi, itu tergantung pada keakuratan masing-masing fotolitografi, yang merupakan indeks overlay pada tabel kementerian perindustrian dan teknologi informasi di atas. namun sejujurnya, akurasi overlay 8nm tidak terlalu menonjol.. secara umumdengan akurasi overlay 4nm, menggunakan proses 28nm bukanlah masalah besar.. tetapimelakukan 28nm dengan akurasi overlay 8nm dapat menyebabkan masalah kinerja yang serius。

karena seiring dengan mengecilnya ukuran fitur, jumlah lapisan pada chip umumnya akan terus bertambah.kesalahan pendaftaran dapat terakumulasi di berbagai tingkatan. kesalahan-kesalahan ini bisa bertambah, sehingga menghasilkan bias keseluruhan yang lebih besar. misalnya, jika jumlah lapisan 28nm adalah 64 dan jumlah lapisan 10nm adalah 128, maka 128 lapisan akan memiliki akumulasi kesalahan registrasi yang lebih besar.

lalu mengapa terjadi kesalahan registrasi?

1. photomask mungkin mengalami sedikit penyimpangan dimensi selama proses pembuatan, yang dapat mengakibatkan ketidaksesuaian dengan tanda posisi pada wafer. seperti halnya penentuan posisi wafer, masker juga perlu diposisikan secara akurat pada mesin litografi. kesalahan dalam penempatan tanda, kesalahan mekanis, atau kesalahan operator dapat menyebabkan masalah penyelarasan masker.

2. wafer mungkin terpelintir atau tertekuk selama pemrosesan, dan struktur chip di dalamnya dapat mengembang atau berkontraksi. distorsi ini dapat menyebabkan pola yang sama memiliki kesalahan registrasi yang berbeda di lokasi berbeda pada wafer.

3. keterbatasan kinerja peralatan litografi itu sendiri. produsen peralatan litografi yang berbeda,hamparan mesin fotolitografi (yaitu overlay pada tabel) juga berbeda.. secara umum, semakin kecil overlay, semakin tinggi resolusinya, semakin besar kedalaman fokusnya, dan semakin mahal peralatannya.

singkatnya, ini adalah mesin litografi argon fluorida 2.1.6 dalam "katalog panduan penerapan dan promosi peralatan teknis utama (set) pertama (edisi 2024)"ini bukanlah peralatan canggih yang layak untuk ditangisi., perjalanan perusahaan manufaktur terkait mesin litografi masih panjang.

secara obyektif, kesenjangan antara mesin litografi dalam negeri dan asml masih besar (bagan laporan asml di atas dapat menjelaskan semuanya), danseiring dengan peningkatan volume mesin litografi high n/a euv asml, kesenjangan ini masih semakin melebar.

lalu mengapa terdapat kesenjangan yang begitu besar dalam industri mesin litografi dalam negeri, dan perbedaannya begitu kentara dibandingkan dengan peralatan lain secara horizontal?saya kira akar masalahnya adalah masalah mekanisme industri mesin litografi dalam negeri.

lanskap kompetitif pasar mesin litografi global saat ini: asml, nikon dan canon adalah tiga pemasok utama yang menguasai 99% pangsa pasar. di antara mereka, asml memiliki dominasi absolut dengan 82,14% pangsa pasar pemain dominan dalam pendapatan penjualan, tetapi juga dalam hal kepemimpinan teknologi. sebaliknya, di tiongkok, tingkat swasembada mesin fotolitografi yang diproduksi di dalam negeri kurang dari 1%, yang merupakan tingkat swasembada terendah dalam rantai industri semikonduktor. mata rantai paling inti, terpenting, dan paling kompleks dalam industri semikonduktor memiliki tingkat otonomi yang rendah, yang sama sekali tidak sesuai dengan status negara saya sebagai negara manufaktur terbesar.

mengapa perusahaan peralatan mikroelektronika shanghai, satu-satunya perusahaan dengan harapan tinggi, masih belum dapat mengambil peran tersebut setelah dua puluh tahun? beberapa orang mengatakan shanghai microelectronics kekurangan teknologi, dana, bakat, aksesoris, dan manajemen. alasan-alasan ini mungkin terdengar masuk akal, namun menurut saya itu hanyalah penampilan dan retorika, bukan substansi. model pengembangan shanghai microelectronics pada dasarnya bermasalah.

mekanisme penilaian peralatan mikroelektronika shanghai mengadopsi pendekatan penelitian ilmiah berbasis proyek daripada mekanisme berorientasi pasar. penelitian ilmiah mengadopsi mekanisme tinjauan ahli dan berfokus pada terobosan produk sambil mengabaikan aspek ekonomi dan skala. hal ini tidak terlalu menguntungkan pelanggan hilir dalam rantai industri. selain itu, karena skala yang tidak mencukupi, pemasok hulu dalam rantai industri tidak terlalu mendapatkan manfaat. tampaknya selama dua dekade terakhir, negara ini telah menginvestasikan banyak dukungan finansial, namun ekologi rantai industri yang baik belum terbentuk. oleh karena itu, model pengembangan mesin litografi tiongkok sebelumnya pada dasarnya bermasalah.

menurut saya,satu-satunya solusi terakhir adalah pemasaran, mengizinkan dan mendorong perusahaan mesin litografi swasta untuk berpartisipasi, dan memberi penghargaan kepada perusahaan mesin litografi tersebut serta mendukung perusahaan rantai industri yang benar-benar dapat mempertahankan dan melakukan iterasi secara stabil melalui metode berbasis pasar.

hanya ada dua sarana kemajuan peradaban: kemajuan ilmu pengetahuan dan teknologi + pasar bebas dan terbuka.namun kemajuan ilmu pengetahuan dan teknologi tidak dapat dilakukan secara tertutup, tetapi juga harus didasarkan pada pasar yang bebas dan terbuka.

meskipun ada desas-desus bahwa besi tidak bisa menjadi baja, saya percaya bahwa para pejuang yang bersedia menerima tantangan dan percaya bahwa mereka akan menikmati pahala setelah sukses sudah berada di jalan berjuang sendirian, namun semuanya berada pada rantai industri yang naik turun.kami masih harus mengandalkan mereka di masa depan. ini bukan dugaan.