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SIASUN은 차세대 진공 조작기를 정복합니다. 0.02mm의 반복 가능한 위치 정확도로 웨이퍼를 운반할 수 있습니다.

2024-08-25

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IT하우스는 지난 8월 21일부터 25일까지 169개 기업이 600개 이상의 혁신 제품을 전시한 2024년 세계로봇컨퍼런스(World Robot Conference)를 개최했다고 25일 밝혔다.

보고에 따르면, 진공 조작기는 칩 제조 공정 중 서로 다른 스테이션 간에 웨이퍼를 이송하는 역할을 하는 핵심 장비로, 최첨단 공정에서 반복 위치 정확도 요구 사항은 직경의 1/5에 해당하는 0.02mm에 이릅니다. 이 장비는 오랫동안 외국기업이 독점해오던 진정한 '스턱넥(Stuck Neck)' 기술이다.

SIASUN은 차세대 진공 조작기 기술을 독립적으로 개발했으며 중국의 가장 진보된 칩 제조 공장에서 대량 적용을 달성했습니다.

SIASUN Centaur 진공 조작기는 최고의 반복 위치 지정 정확도, 충돌 방지 및 AWC 지능형 동적 보정 기능을 갖추고 있습니다. 조작기는 이중 독립 설계를 채택하여 기존 조작기와 비교하여 필름을 독립적으로 선택하고 배치할 수 있습니다. 효율성이 크게 향상되어 다양한 크기의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.

▲ 팔 몸체 지능형 파악 스테이션

IT House는 SIASUN이 양팔을 구현한 지능형 그립 스테이션, 산업용 로봇 3D 비전 티칭 프리 시스템, 특수 로봇 등 관련 로봇 제품/시스템도 전시했다는 점에 주목했습니다.

▲산업용 로봇 3D 비전 티칭 프리 시스템

▲특수로봇제품