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SIASUN conquista una nuova generazione di manipolatori sotto vuoto: può trasportare wafer con una precisione di posizionamento ripetibile di 0,02 mm

2024-08-25

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IT House ha riferito il 25 agosto che dal 21 al 25 agosto si è tenuta a Pechino la World Robot Conference 2024, 169 aziende hanno esposto più di 600 prodotti innovativi.

Secondo i rapporti, il manipolatore a vuoto è un'apparecchiatura chiave responsabile del trasferimento dei wafer tra diverse stazioni durante il processo di produzione dei chip. Nel processo all'avanguardia, il requisito di precisione di posizionamento ripetitivo raggiunge 0,02 mm, che equivale a 1/5 del diametro. di un capello umano Questa attrezzatura è stata a lungo monopolizzata da aziende straniere e costituisce una vera e propria tecnologia del "collo bloccato".

SIASUN ha sviluppato in modo indipendente una nuova generazione di tecnologia dei manipolatori a vuoto e ha ottenuto un'applicazione di massa negli impianti di produzione di chip più avanzati della Cina.

Il manipolatore a vuoto SIASUN Centaur è dotato di precisione di posizionamento ripetuta, protezione dalle collisioni e funzioni di correzione dinamica intelligente AWC. Il manipolatore adotta un doppio design indipendente. I due bracci possono prelevare e posizionare i film in modo indipendente senza essere influenzati l'uno dall'altro l'efficienza è significativamente più elevata, in grado di gestire wafer di diverse dimensioni.

▲ Stazione di presa intelligente braccio-corpo

IT House ha notato che SIASUN ha esposto anche prodotti/sistemi robotici correlati, come una stazione di presa intelligente incorporata a due bracci, un sistema senza insegnamento della visione 3D di robot industriali e robot speciali.

▲ Sistema senza insegnamento della visione 3D di robot industriali

▲Prodotti robotici speciali