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SIASUN erobert eine neue Generation von Vakuummanipulatoren: Er kann Wafer mit einer wiederholbaren Positionierungsgenauigkeit von 0,02 mm transportieren

2024-08-25

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IT House berichtete am 25. August, dass vom 21. bis 25. August die Weltroboterkonferenz 2024 in Peking stattfand und 169 Unternehmen mehr als 600 innovative Produkte ausstellten.

Berichten zufolge ist der Vakuummanipulator eine Schlüsselausrüstung, die für den Transfer von Wafern zwischen verschiedenen Stationen während des Chipherstellungsprozesses verantwortlich ist. Im hochmodernen Prozess beträgt die erforderliche wiederholte Positionierungsgenauigkeit 0,02 mm, was 1/5 des Durchmessers entspricht Dieses Gerät wurde lange Zeit von ausländischen Unternehmen monopolisiert und ist eine regelrechte „Steckhals“-Technologie.

SIASUN hat unabhängig eine neue Generation der Vakuummanipulatortechnologie entwickelt und in Chinas modernsten Chipfertigungsanlagen massenhaft eingesetzt.

Der Vakuummanipulator SIASUN Centaur verfügt über eine führende Wiederholgenauigkeit, Kollisionsschutz und intelligente dynamische Korrekturfunktionen. Die beiden Arme können Filme unabhängig voneinander aufnehmen und platzieren, ohne dass sie sich gegenseitig beeinflussen Die Effizienz ist deutlich höher und ermöglicht die Handhabung von Wafern unterschiedlicher Größe.

▲ Intelligente Arm-Körper-Greifstation

IT House stellte fest, dass SIASUN auch verwandte Roboterprodukte/-systeme ausstellte, wie etwa eine intelligente Greifstation mit zwei Armen, ein lernfreies 3D-Vision-System für Industrieroboter und Spezialroboter.

▲Lehrfreies 3D-Vision-System für Industrieroboter

▲Spezielle Roboterprodukte