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IT Houseは8月25日、2024年世界ロボット会議が8月21日から25日まで北京で開催され、169社が600以上の革新的な製品を展示したと報じた。

報告によると、真空マニピュレータは、チップ製造プロセス中にウェーハを異なるステーション間で搬送する重要な装置であり、最先端のプロセスでは、繰り返し位置決め精度の要件が直径の 1/5 に相当する 0.02 mm に達します。この装置は長い間外国企業によって独占されており、まさに「スタックネック」技術です。

SIASUN は、新世代の真空マニピュレータ技術を独自に開発し、中国の最先端チップ製造工場での大量適用を達成しました。

SIASUN Centaur 真空マニピュレータは、優れた繰り返し位置決め精度、衝突保護、および AWC インテリジェントな動的補正機能を備えています。このマニピュレータは、従来のマニピュレータと比較して、相互に影響を受けることなくフィルムを独立してピックアンドプレースできます。効率が大幅に向上し、さまざまなサイズのウェーハを処理できるようになりました。

▲ アームボディインテリジェント把握ステーション

ITハウスは、SIASUNが二腕一体化インテリジェント把握ステーション、産業用ロボット3Dビジョンティーチングフリーシステム、特殊ロボットなどの関連ロボット製品/システムも展示していることに注目した。

▲産業用ロボット3Dビジョンティーチングフリーシステム

▲特殊ロボット製品