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러시아에는 아직 5대의 ASML 리소그래피 기계가 있습니다!

2024-08-05

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러시아-우크라이나 분쟁 발발 이후 러시아는 여러 국가와 지역에서 제재를 받아 각종 반도체 칩과 장비 수입이 제한됐다. 이로 인해 러시아도 자체 연구와 현지 제조 칩에 대한 투자를 늘릴 수밖에 없었지만 장비, 재료 등 여러 측면에서 여전히 병목 현상에 직면하게 될 것입니다. 그러나 외신 '인사이더'에 따르면 러시아는 여전히 일부 채널을 통해 중국 대만에서 실리콘 웨이퍼(반도체 실리콘 웨이퍼) 등 제품을 수입할 수 있다.

군수요에 기반한 칩 제조 역량 확보

2022년 2월 러시아-우크라이나 분쟁이 발발한 이후 미국, 유럽연합, 일본, 싱가포르, 한국, 대만, 중국 등은 연속적으로 러시아 반도체에 대한 수출 통제를 도입해 러시아의 군사적 전쟁을 막고자 했다. 반도체의 공급. 러시아에는 상업적으로 실행 가능한 고성능 마이크로칩을 생산할 수 있는 현대 기술이 부족하다고 해서 현지 제조업체가 반도체 코어를 생산하는 방법을 모른다는 의미는 아닙니다. 오래된 칩 생산 기술은 소련 시대에 개발되었습니다.

예를 들어, 리소그래피 전문가인 Denis Shamiryan에 따르면 러시아 회사인 Mikron은 대량 생산에서 180nm 기술을, 단일 제품 생산에서는 90nm 기술을 마스터했습니다. 90nm 공정의 경우 Mikron은 STMicroelectronics 리소그래피 장비를 사용합니다. Mikron의 민간용 제품은 은행 카드와 여권 칩으로 제한되며 연간 생산량은 40억 개의 마이크로칩에 이릅니다.

Shamiryan이 회상했듯이 러시아는 또한 130nm 및 90nm 기술을 사용하여 모스크바 지역 Zelenograd의 Angstrem-T에서 칩을 생산할 계획입니다. 2000년대 후반에 Angstrem-T는 드레스덴에 있는 AMD Fab36 공장에서 완전한 ASML 생산 라인을 구입했습니다. 그러나 Angstrem-T가 2019년에 파산 선고를 받았기 때문에 이러한 계획은 결코 결실을 맺지 못했습니다. 그러나 Angstrem(T 삭제)이라는 Zeelengrad 기반의 또 다른 기업은 다양한 마이크로칩을 생산합니다.

Shamiryan은 또한 러시아 Rusnano 그룹 산하 Crocus NanoElectronics 공장이 주로 MRAM 메모리 생산을 위해 65nm 공정을 성공적으로 구축했지만 생산 주기의 절반만 완료할 수 있었고 여전히 해외 공급에 의존해야 했다고 지적했습니다. 나중에 제재로 인해 강제로 폐쇄되었습니다.

러시아의 기존 마이크로칩 생산 시설은 주로 군사용으로 사용됩니다. 예를 들어, 러시아 칩 제조업체인 Epiel은 주로 모스크바 근처 Zelenograd에서 사업을 운영하고 있으며 러시아 칩 제조의 에피택셜 성장(epi) 공정에서 선두업체로 자리매김했습니다.

Epiel의 가장 최근 공개 재무제표에 따르면, 회사는 2020년에 거의 700만 달러의 수익을 올렸습니다. Epiel은 주로 100mm, 150mm 및 200mm의 적절한 직경을 가진 웨이퍼를 공급하지만, 현재 가장 진보된 현대 기술은 300nm 웨이퍼를 사용합니다. 한 해 동안 Epiel은 러시아 산업통상부로부터 수십만 달러의 정부 계약을 확보하고 최종 사용 제조업체인 Ready-use 제조업체를 위해 생산하는 합작 투자 회사인 NZPP Vostok("Novosibirsk Semiconductor Device Plant")에 처리된 웨이퍼를 공급했습니다. 칩을 만들었습니다.

최신 공공 조달 데이터에 따르면 NZPP Vostok은 핵무기 생산을 전문으로 하는 Rosatom 법인 KaVolodin Instrument Manufacturing Plant(Federal State Unified Enterprise)와 적극적으로 협력하고 있습니다. NZPP Vostok의 공장은 여전히 ​​64Kbit 메모리 칩을 생산하고 있으며, 적어도 최근까지 군사 장비 등을 개발하는 Rybinsk의 Luck Design Bureau와 같은 군사 회사에 수백만 루블 상당의 칩을 판매했습니다.

Epiel의 또 다른 고객은 점령된 크리미아에 있는 Fiolent 군용 공장을 위한 Volodin 장비를 제조하는 Voronezh의 전자 장비 연구소, Sozvezdie Concern(군용 전자전 및 통신 및 제어 장비를 제조하는 회사) 및 Rosatom 공장에서 제품을 제공합니다.

사용 가능한 기록에는 군용 마이크로파 장비, 트랜지스터 및 마이크로칩을 만드는 이전 전자 공장이었던 Epiel과 Pulsar 간의 협력도 나와 있습니다. Epiel은 또한 핵탄두를 개발하는 NL Dukhov All-Russian Research Institute of Automation과 계약을 이행합니다. Epiel의 주소는 Mikron 그룹의 일부로 알려진 Sitronics Smart Technologies의 주소와 일치합니다. 또한 Epiel은 Mikron 및 러시아 분자 전자 연구소와 사무실 공간을 공유합니다. 따라서 에피엘은 같은 계열사에 속해 있다고 보는 것이 타당하다.

러시아산 마이크로칩을 무기에 사용하는 구체적인 용도로는 1890VM6Ya 프로세서와 전투기 바게트 비행 제어 컴퓨터의 변형이 있습니다.

2011년에 인기 있는 IT 포털인 Habr의 기사에서는 Milandr가 180nm 기술 장비에서 제조한 칩이 러시아 전투기와 대공 방어 시스템에 사용되었다고 보도했습니다.

러시아 국내 칩 제조 과정은 다음과 같이 나타난다. 첫째, 에피엘은 수입 웨이퍼에 에피택셜 성장을 진행한다. Mikron, NZPP Vostok, Pulsar 또는 Institute of Electronic Devices와 같은 회사에서는 이러한 반도체 제품을 사용하여 즉시 사용 가능한 마이크로칩을 만듭니다. 업계 전문가에 따르면 이 프로세스에는 웨이퍼를 개별 코어로 절단하고 핀을 연결하고 "패키징"하는 작업이 포함될 수 있습니다.

이러한 칩의 대부분은 최신 칩에 비해 구식이지만 러시아 무기 제조업체는 보안 문제와 제조 공정으로 인한 공급 문제로 인해 기술적으로 진보된 칩 대신 국산 칩을 선택합니다. 또한 이러한 칩은 주로 대형 중무기에 사용되기 때문에 최첨단 전자 장치가 제공하는 소형화 이점은 거의 부적합합니다.

러시아에는 현재 5대의 오래된 ASML 리소그래피 기계가 있습니다.

러시아의 경우 독립적인 칩 제조는 주요 반도체 장비, 특히 포토리소그래피 기계와 분리될 수 없습니다. 현재 파장이 193nm("극자외선")인 DUV 리소그래피 기계의 세계 주요 공급업체는 ASML, Nikon 및 Canon뿐이며, ASML만이 파장이 13.5nm("극자외선")인 EUV 노광기를 제공할 수 있습니다. X선 범위) 제조.

ASML 대변인은 ASML이 러시아에 상당한 양의 장비를 판매한 적이 없다고 The Insider에 확인했습니다. 2014년 이후 ASML 브랜드 리소그래피 기계 중 5천만 달러 상당만이 러시아로 수입되었습니다. 5천만 달러는 큰 가치처럼 보이지만 EUV 리소그래피 기계를 구입할 수도 없습니다.

ASML은 러시아가 해체된 낡은 장비의 일부만 제3국에서 수입했다고 주장했습니다. 우크라이나 출판물 Pravda는 이러한 평가를 크게 확인했습니다. 2022년 현재 러시아에는 러시아 시스템 분석 과학 연구소(Russian Institute of Systems Analytical Sciences), Mapper, Zelenograd Nanotechnology Center 및 Mikron에 위치한 파장 범위가 365~193nm인 5대의 ASML 리소그래피 기계(모두 PAS 5000 시리즈)가 작동 중인 것으로 알려졌습니다.

러시아와 우크라이나 간 전면전이 발발한 후 TSMC는 러시아 칩 OEM 생산을 중단했습니다. 이러한 이유로 러시아도 자체 개발한 칩을 국내에서 제조하려면 기존 수입 반도체 장비에 의존해야 합니다. 현재 러시아에서는 5개의 ASML 장치가 작동하고 있지만 이러한 장치는 매우 구식이며 심지어 15~20년 된 것입니다.

이와 관련해 ASML은 러시아 노광 장비에 대한 유지보수 서비스를 제공하지 않는다고 주장하지만, 여전히 2차 시장에는 제조업체가 통제할 수 없는 관련 부품이 많이 유통되고 있다.

제재 이전에 수입된 소수의 서구 리소그래피 기계 외에도 러시아 제조업체는 민스크에 있는 Planar 공장에서 리소그래피 기계를 얻을 수도 있다는 점에 유의해야 합니다. 이러한 리소그래피 기계는 350nm의 파장에서 작동하고 최소 형상 크기는 500nm이며 1995년에 등장했지만 1999년에 폐기된 기술을 나타냅니다.

반도체 원료 공급

러시아 자체 칩 제조의 또 다른 문제는 반도체 실리콘 웨이퍼, 포토마스크 등 필요한 반도체 재료를 현지 공급업체가 부족하여 수입에 의존해야 한다는 점입니다. 이전에는 몇 가지 장애물에 직면했지만 러시아는 여전히 일부 채널을 통해 이러한 제품을 구매할 수 있습니다.

러시아 내부 관세 자료에 따르면 러시아는 마이크로칩과 인쇄회로기판 생산을 위해 2023년 총 1억 5050만 달러 상당의 반도체 관련 제품(관세 코드 848620)을 수입했습니다. 구매자 목록에는 스마트 카드와 칩을 만드는 Sitronics Smart Technologies, 태양광 패널을 만드는 Hevel과 같은 민간 기업, 제재 제품을 포함한 다양한 장비의 딜러, 주변 장치, 비-소량 장비를 구매하는 조직이 포함됩니다. 핵심 프로젝트(예: IT 회사 Craftech).

러시아 최대 실리콘 웨이퍼 수입국은 OOO Hevel로, 2023년 중국에서 거의 700만 달러 상당의 실리콘 웨이퍼를 수입했지만, 이 웨이퍼는 주로 태양광 패널에 사용되었습니다. Epiel은 칩 제조에 사용되는 반도체 웨이퍼의 최대 수입업체 중 하나로, 2023년에는 220만 달러 상당의 반도체 웨이퍼를 수입할 예정입니다. 회사의 최종 사용자 중 다수는 군수 기업이었으며, 2010년대 초반부터 본격적인 우크라이나 침공까지 대부분의 공급업체는 아시아 및 미국 기업이었습니다.

그러나 러시아-우크라이나 분쟁이 발생한 후 Epiel은 공급업체 기반을 완전히 바꿔야 했고 동남아시아의 여러 주요 수출업체로부터 반도체 실리콘 웨이퍼를 구매하는 것으로 전환했습니다. The Insider가 집계한 목록에 따르면 대만 회사인 Pai Haung Technology도 반도체 실리콘 웨이퍼를 많이 수출하고 있으며 소수의 러시아 및 벨로루시 기업과만 거래하고 있으며 대만에서 반도체 실리콘 웨이퍼를 직접 배송할 수 있습니다. .

러시아-우크라이나 전쟁 발발 이후 Pai Haung은 자사 브랜드로 러시아와 벨로루시에 400만 달러 상당의 반도체 웨이퍼를 판매했지만 이 브랜드는 온라인에서 눈에 띄지 않습니다. 내부자는 많은 세관 문서에서 제조업체가 대만에 본사를 둔 Wafer Works라는 다른 회사를 가리키고 있다고 믿습니다. 왜냐하면 이 회사는 러시아와 우크라이나 간의 분쟁이 발생하기 전에 Epiel의 공급업체이기도 했기 때문입니다.

인사이더는 잘 알려지지 않은 Pai Haung이 실제로 반도체 실리콘 웨이퍼를 생산하지 않기 때문에 공급망에서 그의 역할은 재판매 중개인의 역할로 제한되어 있다고 믿습니다.

전직 미국 재무부 관리가 설립한 데이터 회사 카론(Kharon)에 따르면 파이 하웅(Pai Haung)은 한때 미국 DMS 전자부품그룹(DMS Electronic Components Group) 웹사이트에 계열사로 등재됐으나 현재는 해당 정보가 웹사이트에서 사라졌다.

Pai Haung CEO Bao Yongjian은 대만 언론과의 인터뷰에서 회사가 대만, 중국의 법률을 엄격히 준수할 것이며 제재를 받는 기업과 거래하지 않을 것이라고 말했습니다.

현재 러시아 질렌그라드에 본사를 두고 있는 Epiel은 궁극적으로 러시아 군수 산업에서 사용되는 제품 제조 공정의 필수적인 부분임에도 불구하고 실제로 미국, 대만 또는 기타 제재 목록에 등재되어 있지 않습니다.

그러나 Pai Haung의 또 다른 고객인 AO VZPP Mikron(Voronezh Semiconductor Equipment Joint Stock Company Mikron)은 제재 대상입니다. 2020년에 Mikron은 최대 1,200V의 방사선 경화 제너 다이오드를 개발하기 위한 일련의 정부 계약을 체결했습니다. 이 제너 다이오드는 민간 응용 분야보다 군용으로 사용될 가능성이 더 높습니다.

Epiel의 4번째로 큰 공급업체는 일본 D&X Co., Ltd.의 중국 지사입니다. The Insider의 요청에 따라 일본 경제산업부는 일본 기업이 실리콘 웨이퍼(코드 381800)를 러시아에 수출할 수 없음을 보여주는 밀수품 목록을 보냈습니다.

Epiel의 또 다른 공급업체인 D&X는 아직 The Insider의 조사에 응답하지 않았습니다. 경영진은 D&X가 러시아로 선적한 사실을 알지 못했다고 말했다.

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편집자: Core Intelligence - 루로니 소드