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ロシアではまだ 5 台の ASML リソグラフィー マシンが利用可能です。

2024-08-05

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ロシア・ウクライナ紛争の勃発以来、ロシアは多くの国や地域から制裁を受けており、その結果、さまざまな半導体チップや装置の輸入が制限されている。このことにより、ロシアも自主研究や現地製造のチップへの投資を増やす必要に迫られているが、依然として設備や材料など多くの面でボトルネックに直面するだろう。しかし、海外メディア「The Insider」によると、ロシアは依然として台湾や中国からチップの製造に必要な原材料であるシリコンウェーハ(半導体シリコンウェーハ)などの製品を輸入することが可能であるとのこと。

軍事ニーズに基づいて確立されたチップ製造能力

2022年2月にロシアとウクライナの紛争が勃発して以来、米国、欧州連合、日本、シンガポール、韓国、台湾、中国などが相次いでロシア製半導体に対する輸出規制を導入し、半導体の封鎖によってロシアの軍事戦争を軽減しようとしている。半導体力の供給。ロシアには高性能で商業的に実行可能なマイクロチップを製造するための最新技術が欠けているが、それは地元メーカーが半導体コアの製造方法を知らないという意味ではない。古いチップ製造技術はソ連時代に開発されました。

たとえば、リソグラフィーの専門家であるデニス・シャミリャン氏によると、ロシアのミクロン社は量産では180nm技術を習得し、単体生産では90nm技術を習得したという。 90nmプロセスでは、MikronはSTMicroelectronicsリソグラフィ装置を使用しています。 ミクロンの民生用製品は銀行カードとパスポート用チップに限定されており、年間生産量は40億個のマイクロチップに達する。

シャミリアン氏が思い出したように、ロシアはまた、モスクワ地域のゼレノグラードにあるアングストレム-Tで130nmと90nmの技術を使用してチップを生産する計画を立てている。 2000 年代後半、Angstrem-T はドレスデンにある AMD の Fab36 工場から完全な ASML 生産ラインを購入しました。しかし、Angstrem-T は 2019 年に破産を宣告されたため、これらの計画は実現しませんでした。しかし、ゼーレングラードに本拠を置く別の企業は、Angstrem (T を省略) と呼ばれ、さまざまなマイクロチップを製造しています。

シャミリャン氏はまた、ロシアのルスナノ・グループ傘下のクロッカス・ナノエレクトロニクス工場は、主にMRAMメモリの生産を目的とした65nmプロセスの確立に成功したが、生産サイクルの半分しか完了できず、依然として海外からの供給に依存しなければならなかったと指摘した。その後、制裁により閉店を余儀なくされた。

ロシアの既存のマイクロチップ生産施設は主に軍事需要に応えている。たとえば、ロシアのチップメーカー Epiel は、主にモスクワ近郊のゼレノグラードで事業を展開しており、ロシアにおけるチップ製造のエピタキシャル成長 (epi) プロセスのリーダーとしての地位を確立しています。

Epiel の最新の公開財務諸表によると、同社の 2020 年の収益は 700 万ドル近くでした。 Epiel は主に 100mm、150mm、200mm の適切な直径のウェーハを供給していますが、現在最先端の最新技術では 300nm ウェーハが使用されています。この年、Epiel はロシア産業通商省から数十万ドルの政府契約を確保し、最終用途メーカー向けに生産する合弁会社 NZPP Vostok (「ノボシビルスク半導体デバイス工場」) に処理済みウェーハを供給しました。チップを作りました。

最新の公共調達データによると、NZPPボストークは核兵器の製造を専門とするロスアトムの実体であるカヴォロディン機器製造工場(連邦国家統一企業)と積極的に協力している。 NZPPボストークの工場は今でも64キロビットのメモリチップを生産しており、少なくとも最近までは、軍事装備品のドローンなどを開発するルイビンスクのラックデザイン局などの軍事企業に数百万ルーブル相当のチップを販売していた。

Epielのもう1つの顧客は、ヴォロネジの電子機器研究所であり、占領下のクリミアにあるフィオレント軍事工場向けにヴォロディン機器を製造しているほか、ソズベズディ・コンツェルン(軍向けの電子戦や通信・制御機器を製造している)、ロスアトム・ザ・ファクトリーに製品を提供している。

入手可能な記録には、エピエルと、軍用のマイクロ波機器、トランジスタ、マイクロチップを製造していた元電子機器工場であるパルサーとの協力関係も示されている。 エピエルはまた、核弾頭を開発するNLドゥホフ全ロシア自動化研究所との契約も履行している。 Epiel氏の住所は、Mikronグループの一部と言われているSitronics Smart Technologiesの住所と一致する。さらに、エピエルはミクロンおよびロシア分子エレクトロニクス研究所とオフィススペースを共有しています。したがって、Epiel が同じグループの企業に属していると考えるのが合理的です。

ロシア製マイクロチップの兵器への具体的な用途としては、戦闘機バゲット飛行制御コンピューターの1890VM6Yaプロセッサーとその派生型が挙げられる。

2011年に遡ると、人気ITポータルHabrの記事は、180nm技術機器でミランドル社が製造したチップがロシアの戦闘機や防空システムに使用されていると報じた。

ロシア国内のチップ製造プロセスは次のようである。まず、Epiel は輸入ウェーハ上にエピタキシャル成長を行う。 Mikron、NZPP Vostok、Pulsar、電子デバイス研究所などの企業は、これらの半導体製品を使用して、すぐに使用できるマイクロチップを作成します。業界の専門家によると、このプロセスには、ウェーハを個々のコアに切断し、ピンを接続して「パッケージ化」することが含まれる可能性があるという。

これらのチップのほとんどは最新のチップに比べて時代遅れであるにもかかわらず、ロシアの兵器メーカーは、部分的には安全上の懸念、部分的には製造プロセスに起因する供給問題により、より技術的に進んだチップではなく国産のチップを選択している。さらに、これらのチップは主に大型の重兵器での使用を目的としているため、最先端の電子機器によってもたらされる小型化の利点はほとんど無関係です。

ロシアには現在、古い ASML リソグラフィー装置が 5 台あります。

ロシアにとって、独立したチップ製造は、主要な半導体装置、特にフォトリソグラフィー装置から切り離せないものです。現在、波長 193nm (「深紫外線」) の DUV リソグラフィー装置の世界の主要サプライヤーは ASML、ニコン、キヤノンのみですが、波長 13.5nm (「極紫外線」) の EUV リソグラフィー装置を提供できるのは ASML だけです。 X線範囲の製造)。

ASMLの広報担当者はThe Insiderに対し、ASMLがロシアに大量の機器を販売したことはないと認めた。 2014 年以来、ロシアに輸入されている ASML ブランドのリソグラフィー装置はわずか 5,000 万ドル相当です。 5,000 万ドルはかなりの価値があるように思えますが、EUV リソグラフィー マシンさえ購入できません。

ASMLは、ロシアは第三国から解体された古い設備の部品のみを輸入していると主張した。ウクライナの出版物プラウダはこの評価をほぼ確認した。報告書によると、2022年の時点でロシアは、ロシアシステム分析科学研究所、Mapper、ゼレノグラードナノテクノロジーセンター、ミクロンに設置され、波長範囲365~193ナノメートルのASMLリソグラフィー機(すべてPAS 5000シリーズ)を5台稼働させている。

ロシアとウクライナの間で全面戦争が勃発した後、TSMCはロシア製チップのOEM供給を停止した。このため、ロシアも国内で自社開発チップを製造するには既存の輸入半導体装置に依存しなければならない。現在、ロシアでは 5 台の ASML 装置が稼働していますが、これらの装置は非常に時代遅れで、15 ~ 20 年前のものでもあります。

この点に関して、ASMLはロシア製リソグラフィー装置の保守サービスは提供していないと主張しているが、メーカーが管理できない関連部品が依然として流通市場に多数流通している。

制裁前に輸入された数少ない西側のリソグラフィー装置に加えて、ロシアの製造業者もミンスクの Planar 工場からリソグラフィー装置を入手できることに注意すべきである。これらのリソグラフィー マシンは、最小フィーチャ サイズ 500nm の波長 350nm で動作し、1995 年に登場した技術ですが、1999 年までに廃止されました。

半導体原料供給

ロシア自身のチップ製造に関するもう1つの問題は、半導体シリコンウェーハやフォトマスクなど必要な半導体材料の現地供給者が不足しており、輸入に頼らざるを得ないことだ。以前はいくつかの障害に直面していましたが、ロシアは依然としていくつかのルートを通じてこれらの製品を購入できます。

ロシアの国内税関データによると、ロシアは2023年にマイクロチップとプリント基板の生産のために総額1億5,050万ドル相当の半導体関連製品(関税コード848620)を輸入した。買い手のリストには、スマートカードやチップを製造するSitronics Smart Technologiesやソーラーパネルを製造するHevelなどの民間企業、制裁対象品を含むさまざまな機器の販売業者、周辺機器や非正規品の機器を少量購入する組織が含まれています。コアプロジェクト(IT企業Craftechなど)。

ロシア最大のシリコンウェーハ輸入国はOOO Hevelで、2023年に中国から700万ドル近く相当のシリコンウェーハを輸入したが、これらのウェーハは主に太陽光パネルに使用されていた。 Epiel はチップ製造に使用される半導体ウェーハの最大輸入業者の 1 つであり、2023 年には 220 万米ドル相当の半導体ウェーハを輸入しています。同社のエンドユーザーの多くは軍産企業であり、2010年代初頭からウクライナへの本格的な侵攻まで、サプライヤーのほとんどはアジアとアメリカの企業でした。

しかし、ロシアとウクライナの紛争勃発後、エピエルはサプライヤーベースを完全に変更し、東南アジアの大手輸出業者数社から半導体シリコンウェーハを購入することに切り替えた。インサイダーがまとめたリストから判断すると、台湾企業パイ・ハウン・テクノロジー社も多くの半導体シリコンウェーハを輸出しており、ロシアとベラルーシの少数の企業とのみ取引があり、台湾から半導体シリコンウェーハを直接輸送できる。 。

ロシア・ウクライナ戦争の勃発以来、パイ・ハウンは自社ブランドでロシアとベラルーシに400万ドル相当の半導体ウェーハを販売したが、このブランドはオンライン上で知名度がなかった。 インサイダーは、多くの税関書類がこの製造業者を台湾に本拠を置く別の会社である Wafer Works であると指摘していると信じている。なぜなら、この会社はロシアとウクライナの間の紛争が勃発する前には Epiel の供給者でもあったからだ。

インサイダーは、あまり知られていないパイ・ハウン氏は実際には半導体シリコンウェーハを生産しておらず、そのためサプライチェーンにおける彼の役割は再販仲介業者に限定されていると考えている。

元米国財務省職員が設立したデータ会社カロンは、パイ・ハウンがかつて米国DMS電子部品グループのウェブサイトに関連会社として記載されていたが、現在この情報はウェブサイトから消えていることを発見した。

パイ・ハウン最高経営責任者(CEO)の包永健氏は台湾メディアのインタビューで、同社は台湾と中国の法律を厳格に遵守し、制裁対象企業とは取引しないと述べた。

現在ロシアのゼーレングラードに本社を置くエピエル社は、ロシアの軍需産業が最終的に使用する製品の製造プロセスの不可欠な部分であるにもかかわらず、確かに米国、台湾、その他の制裁リストには載っていない。

しかし、パイ・ハウン氏の別の顧客であるAO VZPPミクロン(ヴォロネジ半導体装置合資会社ミクロン)は制裁の対象となっている。 2020年、ミクロンは最大1,200ボルトの放射線耐性のあるツェナーダイオードを開発する一連の政府契約を獲得したが、これは民間用途よりも軍事で使用される可能性が高い。

Epiel の 4 番目に大きなサプライヤーは、日本の D&X 株式会社の中国支店です。インサイダーの要請に応じて、日本の経済産業省は、日本企業がシリコンウェーハ(コード381800)をロシアに輸出することを許可されていないことを示す禁制品のリストを送付した。

Epielのもう1つのサプライヤーであるD&Xは、まだThe Insiderの調査に応じていない。経営陣は、D&Xのロシアへの出荷については把握していないと述べた。

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編集者: Core Intelligence - るろうに剣