समाचारं

चीनस्य घरेलु duv लिथोग्राफी यन्त्रेण माइलस्टोन् प्रगतिः आरब्धा, ओवरले ≤8nm

2024-09-15

한어Русский языкEnglishFrançaisIndonesianSanskrit日本語DeutschPortuguêsΕλληνικάespañolItalianoSuomalainenLatina

आईटी हाउस् इत्यनेन १५ सितम्बर् दिनाङ्के ज्ञापितं यत् उद्योगसूचनाप्रौद्योगिकीमन्त्रालयेन ९ सितम्बर् दिनाङ्के "मुख्यतकनीकीउपकरणानाम् प्रथमस्य (सेटस्य) संवर्धनार्थं अनुप्रयोगाय च मार्गदर्शनसूचीपत्रं (२०२४ संस्करणम्)" जारीकृतम्।दस्तावेजसूचौ घरेलुक्रिप्टनफ्लोराइड् अपि अन्तर्भवति लिथोग्राफी मशीन (110nm), तथा आर्गन फ्लोराइड लिथोग्राफी मशीन (65nm) की सामग्री।

चीनस्य प्रथमः प्रमुखः तकनीकीसाधनः (सेटः) तान् उपकरणोत्पादान् निर्दिशति येषां चीनदेशे प्रमुखाः प्रौद्योगिकीसफलताः प्राप्ताः, बौद्धिकसम्पत्त्याः अधिकाराः सन्ति, तथा च अद्यापि महत्त्वपूर्णं विपण्यप्रदर्शनं न प्राप्तवन्तः, यत्र पूर्णसाधनाः, मूलप्रणाल्याः, प्रमुखघटकाः च सन्ति

it home एतयोः सूचनापङ्क्तयोः स्क्रीनशॉट् निम्नलिखितरूपेण संलग्नं करोति ।

  वेफर व्यासः प्रकाश तरंगदैर्घ्य प्रस्ताव उत्कीर्णनस्य उपरि
क्रिप्टन फ्लोराइड (krf) लिथोग्राफी मशीन ३००मि.मी २४८nm ≤110nm ≤25nm
आर्गन फ्लोराइड (arf) लिथोग्राफी मशीन ३००मि.मी १९३nm ≤65nm ≤8nm

क्रिप्टनफ्लोराइड् (krf) तथा आर्गनफ्लोराइड् (arf) वायुः द्वौ अपि गभीरपराबैंगनी (duv) लिथोग्राफीयन्त्राणां सेवां कुर्वन्ति, एक्साइमरलेसराः ये गहनं पराबैंगनीप्रकाशं उत्पादयन्ति

वर्तमान समये शिलालेखयन्त्राणि पञ्च पीढयः विकासस्य माध्यमेन गतवन्तः, प्रारम्भिकतः ४३६ तरङ्गदैर्घ्यात् आरभ्य द्वितीयपीढीयाः शिलालेखयन्त्राणि यावत् i-रेखा तरङ्गदैर्घ्यस्य ३६५nm इत्यस्य उपयोगं आरभन्ते, तृतीयपीढीयाः २४८nm krf लेजरं च चतुर्थः पीढी १९३nm तरङ्गदैर्घ्यः duv लेजरः अस्ति, यः arf excimer लेजरः अस्ति ।

स्रोतः : पिंग एन् सिक्योरिटीज

arf (argon fluoride) excimer laser source lithography machine, प्रकाशस्रोतस्य वास्तविकतरङ्गदैर्घ्यं 193nm यावत् भग्नं भवति तथा च 134nm यावत् लघु भवति, na मूल्यं 1.35 भवति, तथा च 7nm इत्यत्र सर्वोच्चप्रक्रियानोड् प्राप्तुं शक्यते

विसर्जनप्रौद्योगिकी चक्षुषः सिलिकॉनवेफरस्य च मध्ये स्थानं द्रवे विसर्जयितुं निर्दिशति यतः द्रवस्य अपवर्तनसूचकाङ्कः १ इत्यस्मात् अधिकः भवति, अतः लेजरस्य वास्तविकतरङ्गदैर्घ्यं बहु न्यूनीकरिष्यते

आच्छादनसटीकता प्रायः "अधिकतमः सटीकता या बहुविधप्रकाशनेन प्राप्तुं शक्यते" इति उच्यते २८nm प्रक्रिया ।

२८ नैनोमीटर्-परिमितं लिथोग्राफी-यन्त्रं मध्यतः निम्न-अन्त-मध्य-उच्च-अन्त-चिप्स-योः मध्ये विभाजनरेखा अस्ति, यस्य अर्थः अस्ति यत् औद्योगिक-स्वतन्त्रता चीनस्य विविधाः औद्योगिक-उत्पादाः यथा वातानुकूलन-यन्त्राणि, वाहनानि च भग्नुं शक्नुवन्ति पाश्चात्यदेशैः निर्धारिताः नाकाबन्दीः स्वतन्त्रतया च उत्पादयन्ति विक्रयन्ति च।