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it하우스는 공업정보화부가 지난 9일 '주요기술장비 1차(세트) 홍보 및 적용에 관한 지침 카탈로그(2024년판)'를 발행했다고 15일 밝혔다. 문서 목록에는 국산 크립톤 불화물이 포함돼 있다. 리소그래피 기계 (110nm) 및 아르곤 불화물 리소그래피 기계 (65nm)의 내용.

중국 최초의 주요 기술 장비(세트)는 중국에서 중대한 기술 혁신을 달성하고 지적 재산권을 보유하지만 아직 시장 성과가 크지 않은 장비 제품, 전체 장비, 핵심 시스템 및 핵심 구성 요소를 의미합니다.

it home은 다음과 같이 두 줄의 정보에 대한 스크린샷을 첨부합니다.

	웨이퍼 직경	조명 파장	해결	조각하다
불화크립톤(krf) 리소그래피 기계	300mm	248nm	≤110nm	≤25nm
불화아르곤(arf) 리소그래피 기계	300mm	193nm	≤65nm	≤8nm

불화크립톤(krf)과 불화아르곤(arf) 가스는 모두 심자외선(duv) 리소그래피 기계, 즉 심자외선을 생성하는 엑시머 레이저에 사용됩니다.

현재 노광기는 초기 436파장부터 i라인 파장 365nm를 사용하기 시작한 2세대 노광기와 3세대 248nm krf 레이저까지 5세대 개발을 거쳤다. 4세대는 arf 엑시머 레이저인 193nm 파장의 duv 레이저이다.

출처: 핑안증권

arf(불화 아르곤) 엑시머 레이저 소스 리소그래피 기계는 광원의 실제 파장이 193nm를 돌파하여 134nm로 단축되고 na 값은 1.35이며 가장 높은 프로세스 노드는 7nm에서 달성할 수 있습니다.

침지 기술은 렌즈와 실리콘 웨이퍼 사이의 공간을 액체에 담그는 것을 말합니다. 액체의 굴절률은 1보다 크기 때문에 레이저의 실제 파장은 크게 줄어듭니다.

오버레이 정확도는 종종 "다중 노광으로 달성할 수 있는 최고의 정확도"로 언급됩니다. 오버레이 정확도와 1:3의 대량 생산 공정 간의 관계에 따르면 이 사진 평판 기계는 아마도 칩을 대량 생산할 수 있을 것입니다. 28nm 공정.

28나노 노광기는 중저가형 칩과 중저가형 칩을 나누는 경계선으로, 에어컨, 세탁기, 자동차 등 중국의 다양한 산업제품이 돌파할 수 있다는 뜻이다. 서구 국가의 봉쇄를 해제하고 독립적으로 생산 및 판매합니다.