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selon les informations d'it house du 15 septembre, le ministère de l'industrie et des technologies de l'information a publié le 9 septembre le « catalogue d'orientation pour la promotion et l'application du premier (ensemble) d'équipements techniques majeurs (édition 2024) » qui comprenait du fluorure de krypton domestique. lithographie dans la liste des documents de la machine (110 nm) et le contenu de la machine de lithographie au fluorure d'argon (65 nm).

le premier équipement technique majeur (ensemble) de chine fait référence aux produits d'équipement qui ont réalisé des percées technologiques majeures en chine, possèdent des droits de propriété intellectuelle et n'ont pas encore atteint des performances significatives sur le marché, y compris les équipements complets, les systèmes de base et les composants clés.

it home joint une capture d'écran de ces deux lignes d'informations comme suit :

	diamètre de la plaquette	longueur d'onde d'éclairage	résolution	sur gravure
machine de lithographie au fluorure de krypton (krf)	300 mm	248 nm	≤110 nm	≤ 25 nm
machine de lithographie au fluorure d'argon (arf)	300 mm	193 nm	≤65 nm	≤8 nm

les gaz fluorure de krypton (krf) et fluorure d'argon (arf) sont utilisés dans les machines de lithographie ultraviolette profonde (duv), des lasers excimer qui produisent une lumière ultraviolette profonde.

à l'heure actuelle, les machines de lithographie ont connu cinq générations de développement, depuis la première longueur d'onde de 436 jusqu'aux machines de lithographie de deuxième génération commençant à utiliser la longueur d'onde i-line de 365 nm et le laser krf de troisième génération de 248 nm. la quatrième génération est le laser duv d’une longueur d’onde de 193 nm, qui est le laser excimer arf.

source : ping an securities

machine de lithographie à source laser excimer arf (fluorure d'argon), la longueur d'onde réelle de la source de lumière dépasse 193 nm et est raccourcie à 134 nm, la valeur na est de 1,35 et le nœud de processus le plus élevé peut être atteint à 7 nm.

la technologie d'immersion consiste à immerger l'espace entre la lentille et la plaquette de silicium dans un liquide. étant donné que l'indice de réfraction du liquide est supérieur à 1, la longueur d'onde réelle du laser sera considérablement réduite.

la précision de la superposition est souvent appelée « la plus haute précision pouvant être obtenue par des expositions multiples ». selon la relation entre la précision de la superposition et le processus de production en série de 1:3, cette machine de photolithographie peut probablement produire en masse des puces avec la précision de la superposition. processus 28 nm.

la machine de lithographie de 28 nanomètres constitue la ligne de démarcation entre les puces bas de gamme et milieu de gamme, ce qui signifie que les divers produits industriels chinois tels que les climatiseurs, les machines à laver et les automobiles peuvent briser les blocus imposés par les pays occidentaux et produire. et vendez de manière indépendante.