новости

официально анонсирована литографическая машина зрелого уровня duv, теперь никто не может заблокировать шейку наших чипов

15 сентября it house сообщила, что министерство промышленности и информационных технологий 9 сентября выпустило «руководящий каталог по продвижению и применению первого (комплекта) основного технического оборудования (издание 2024 года)». в перечень документов входит отечественный фторид криптона. литографическая машина (110 нм) и литографическая машина с содержанием фторида аргона (65 нм).

под первым крупным техническим оборудованием (комплектом) китая понимаются продукты оборудования, которые достигли крупных технологических прорывов в китае, обладают правами интеллектуальной собственности и еще не достигли значительных рыночных показателей, включая полное оборудование, основные системы и ключевые компоненты.

it home прикрепляет скриншот этих двух строк информации следующим образом:

газы фторид криптона (krf) и фторид аргона (arf) используются в литографических машинах с глубоким ультрафиолетом (duv), эксимерных лазерах, которые производят свет глубокого ультрафиолета.

в настоящее время литографические машины прошли пять поколений разработки: от самой ранней длины волны 436 до литографических машин второго поколения, которые начали использовать длину волны i-line 365 нм, и третьего поколения krf-лазера 248 нм. четвертое поколение — это duv-лазер с длиной волны 193 нм, эксимерный arf-лазер.

источник: ping an securities.

машина для литографии с эксимерным лазером arf (фторид аргона), фактическая длина волны источника света превышает 193 нм и сокращается до 134 нм, значение na составляет 1,35, а самый высокий технологический узел может быть достигнут при 7 нм.

технология погружения подразумевает погружение пространства между линзой и кремниевой пластиной в жидкость. поскольку показатель преломления жидкости больше 1, фактическая длина волны лазера будет значительно уменьшена.

точность наложения часто называют «наивысшей точностью, которая может быть достигнута с помощью многократной экспозиции». согласно соотношению между точностью наложения и процессом массового производства 1:3, эта фотолитографическая машина, вероятно, сможет массово производить чипы с 28-нм процесс.

28-нанометровая литографическая машина является разделительной линией между чипами среднего и низкого уровня и среднего и высокого класса, что означает, что различные промышленные продукты китая, такие как кондиционеры, стиральные машины и автомобили, могут прорваться. блокады, установленные западными странами, и производят и продают самостоятельно.

связанное чтение: