중국 최초의 광칩 파일럿 라인이 우시에서 개통되었습니다.
2024-09-25
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9월 25일, 2024년 집적회로(우시) 혁신 및 개발 컨퍼런스에서 상하이 자오퉁대학교 우시 포토닉 칩 연구소가 구축한 국내 최초의 포토닉 칩 파일럿 라인이 공식적으로 출범했으며, 예상 연간 생산 능력은 웨이퍼 10,000장입니다.
포토닉 칩은 차세대 정보 기술의 핵심으로, 인공 지능, 사물 인터넷, 클라우드 컴퓨팅, 생물 의학 및 기타 분야의 새로운 기술 혁명에서 전송, 컴퓨팅, 저장 및 디스플레이에 대한 기술적 요구를 충족할 수 있습니다. 이는 글로벌 경쟁의 산업고지인 경제성장의 새로운 원동력이 되었습니다. 그러나 국내 광칩 산업은 파일럿 플랫폼 부재, 높은 공정 기술 장벽, 낮은 수율 검증, 부족한 생산 능력 전환, 해외 플랫폼에 대한 긴 테이프아웃 주기 등의 어려움에 직면해 있어 '황금'을 심각하게 제한해 왔습니다. 혁신적 성과의 전환과 구현을 위한 기간'입니다. .
2021년, 상하이 자오퉁 대학교 우시 광자 칩 연구소 프로젝트가 우시 빈후 지구에서 공식적으로 시작되었습니다. 2023년 10월에 프로젝트 캐리어 구조가 제한되고 2024년 1월에 첫 번째 장비 배치가 승인되었습니다. 장비 출시 8개월 만에 디버깅, 중국 최초의 광자 칩 파일럿 라인이 발표되었습니다.
약 6,000제곱미터에 달하는 광자칩 파일럿 라인의 고급 마이크로나노 처리 울트라클린룸에서는 장비가 가지런히 배열된 모습을 볼 수 있으며, 깨끗한 옷을 입은 기술자들이 다양한 장비를 능숙하게 조작하고 다양한 매개변수의 작동을 관찰합니다. 제품. . 미세먼지 양을 기준에 맞추기 위해 9미터 높이의 클린룸을 1층에 3개 층으로 나누어 주요 장비를 배치하고, 가스 공급용 배관과 눈에 보이지 않는 상부, 하부 메자닌까지 모두 덮어 깨끗한 공기를 공급하는 청정공기 시스템을 설치하여 실내 양압을 유지하고, 설치된 통풍구를 통해 외부로 배기시켜 작업장 청결도 100등급, 1,000등급을 달성합니다. 및 클래스 10,000 표준.
파일럿 플랫폼의 총 면적은 17,000평방미터로 과학적 연구, 생산 및 서비스를 통합하고 포토리소그래피, 박막 증착, 에칭, 습식법, 절단에서 니오브산리튬 포토닉 칩의 전체 프로세스를 포괄하는 것으로 이해됩니다. 측정부터 포장까지 완전 폐쇄 루프 프로세스는 대학, 과학 연구 기관 및 혁신 기업에 전체 프로세스 기술 서비스를 제공할 수 있을 뿐만 아니라 광산업 인큐베이션 프로젝트를 위한 산업 자금과 효율적으로 연결되어 전체 체인을 개방합니다. 제품 개발부터 시장화까지, 그리고 상업적 변혁의 과학기술 성과를 가속화합니다.
shanghai jiao tong university의 wuxi photonic chip research institute 원장인 jin xianmin에 따르면, 고속 반복과 기술 혁신은 하드웨어 지원, 정교한 장비 및 폐쇄 루프 프로세스의 산업화를 촉진하는 핵심 열쇠입니다. 파일럿 플랫폼은 기술 반복의 플라이휠 효과를 가속화할 뿐만 아니라 프로세스 프로세스의 지속적인 최적화와 제품 혁신 역량 향상을 촉진할 수 있습니다.
연구소는 앞으로도 광칩 분야의 새로운 생산성에 기여하기 위해 첨단 양자기술 및 공통핵심기술 분야를 지속적으로 발굴하고, 광칩 파일럿 라인을 추진해 나갈 예정이다. 코어, 라이트, 인텔리전스 및 컴퓨팅과 같은 차세대 정보 기술에 중점을 둔 "플랫폼 + 인큐베이션 + 펀드"의 3-in-1 전략 레이아웃은 인큐베이션과 투자를 통합하는 과학 기술 성과 및 기업가 정신 인큐베이션의 변혁을 수행할 것입니다. , "photonic core valley"를 만들고, 하드 기술 혁신과 인큐베이션의 새로운 패러다임을 탐구하고, wuxi가 클러스터링된 대규모 개발을 구축하도록 지원합니다. 세계적 수준의 photonic core valley 혁신 생태계.
광자 칩 파일럿 라인의 성공적인 완성은 빈후 지구 캠퍼스가 함께 협력하여 과학 기술 혁신 플랫폼을 만들고 산업적 혁신을 달성한 생생한 전형입니다. 새로운 단계에 들어서면서 우시 '465' 현대 산업 클러스터의 미래 산업 환경은 계속 확장되고 있습니다. 현재 빈후지구에서는 저고도 경제, 양자기술, 심해장비, 휴머노이드 로봇, 합성생물학 등 미래산업 발전을 종합적으로 추진하고 있다. 현재까지 빈후에는 9개의 국가급 혁신 플랫폼, 8개의 성급 과학기술 공공 서비스 플랫폼, 3개의 새로운 r&d 기관이 있습니다. 양쯔저녁뉴스 쯔니우뉴스 딩보 기자
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