中国初のフォトニックチップのパイロットラインが無錫に開設
2024-09-25
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9月25日、2024年集積回路（無錫）イノベーション開発カンファレンスで、上海交通大学無錫フォトニックチップ研究所が構築した初の国内フォトニックチップパイロットラインが正式に開始され、年間生産能力は10,000枚のウェーハが見込まれている。
フォトニックチップは、新世代の情報技術の中核であり、人工知能、モノのインターネット、クラウドコンピューティング、生物医学などの分野における新たな技術革命における伝送、コンピューティング、ストレージ、ディスプレイの技術的ニーズを満たすことができます。それらは経済成長の新たな原動力となり、世界的な競争の産業の高地となっています。しかし、国内のフォトニックチップ業界は、パイロットプラットフォームの欠如、プロセス技術の高い障壁、低歩留まり検証、不十分な生産能力変換、海外プラットフォームの長いテープアウトサイクルなどの困難に直面しており、これらが「ゴールデン」を深刻に制限している。変革と革新的な成果の実現のための期間」。
2021 年、上海交通大学無錫フォトニックチップ研究所プロジェクトが無錫浜湖区で正式に開始され、2023 年 10 月にプロジェクトキャリアの構造が制限され、2024 年 1 月に最初の設備が受け入れられました。8 か月の設備を経て。デバッグ中に、中国初のフォトニックチップのパイロットラインが発表されました。
フォトニックチップパイロットラインの約6,000平方メートルの高品位なマイクロ・ナノ加工超クリーンルームでは、清潔な服装をした技術者が整然と並べられた装置を手際よく操作し、装置の各種パラメータの動作を観察することができます。製品。 。微粉塵の量を基準値に抑えるため、高さ9メートルのクリーンルームの1階を3階に分け、ガス供給用の配管を敷設している。目に見えない上下メザニンも薬品で覆われています。 クリーンな空気を供給して室内を正圧に保ち、設置された通気口から外部に排出するフレッシュエアシステムを設置し、作業場のクリーン度はクラス100、クラス1,000に達します。 、クラス 10,000 規格。
パイロットプラットフォームの総面積は17,000平方メートルで、科学研究、生産、サービスを統合し、フォトリソグラフィー、薄膜蒸着、エッチング、湿式法、切断に至る薄膜ニオブ酸リチウムフォトニックチップの全プロセスをカバーしていることがわかっています。 、測定からパッケージングまでの完全なクローズドループプロセスは、大学、科学研究機関、革新的な企業にフルプロセスの技術サービスを提供するだけでなく、フォトニクス産業の育成プロジェクトのための産業資金と効率的にリンクし、からの完全なチェーンを開くことができます。製品開発から市場化まで、そして商業変革の科学技術的成果を加速します。
上海交通大学無錫フォトニックチップ研究所のジン・シェンミン所長によると、ハードウェアサポート、高度な装置、クローズドループプロセスを促進するための核となる鍵は、高速反復と技術革新である。は、フォトニック チップの工業化をサポートする 3 つの中心要素です。パイロット プラットフォームは、技術反復のフライホイール効果を加速するだけでなく、プロセス プロセスの継続的な最適化と製品イノベーション機能の向上も促進します。
同研究所は、フォトニックチップ分野におけるさらなる新たな生産性向上に貢献するため、今後もフォトニックチップのパイロットラインを活用し、最先端の量子技術や共通基盤技術の研究を進めていきます。コア、ライト、インテリジェンス、コンピューティングなどの新世代情報技術に焦点を当てた「プラットフォーム+インキュベーション+ファンド」のスリーインワン戦略レイアウトは、科学技術成果の変革とインキュベーションと投資の統合を実行します。起業家精神のインキュベーションでは、「フォトニック コア バレー」を作成し、ハード テクノロジー イノベーション インキュベーションの新しいパラダイムを探索し、無錫がクラスター化された大規模開発の世界クラスのフォトニック コア バレー イノベーション エコシステムの構築を支援します。
フォトニックチップのパイロットラインの成功裡の完成は、浜湖区キャンパスが協力して科学技術イノベーションプラットフォームを構築し、産業のブレークスルーを達成することを如実に表している。無錫の「465」現代産業クラスターの将来の産業景観は新たな段階に入り、拡大し続けています。現在、浜湖区では低高度経済、量子技術、深海機器、人型ロボット、合成生物学などの未来産業の発展を総合的に推進しており、その産業にマッチした革新的なプラットフォームが多数導入され続けている。現在までに、浜湖には9つの国家レベルのイノベーションプラットフォーム、8つの省レベルの科学技術公共サービスプラットフォーム、3つの新しい研究開発機関があります。 yangzi evening news ziniu news 記者 ding bo
フェイ・ウォンによる校正
