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40年間に2度の「チップ戦争」、ASMLはどのようにして狩人から獲物に変わったのでしょうか?

2024-07-16

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[文/Observer.comコラムニスト、チン・ラン]

「この議論は事実やデータに基づいたものではなく、イデオロギーに基づいています...イデオロギーがこれ(ビジネスパートナーの利益)に直接影響を与えるのであれば、私はそれに不満を抱きます。」

「私たちは政府が独自の工場を建設することを推奨します。なぜなら、自分たちで代替品を作らずに中国での生産をさらに困難にすることは不可能だからです…必要なものを他人が生産するのを妨げても意味がありません。」

ここ数日間、ASML の 2 人の元 CEO、ピーター・ウェニンク氏とクリストフ・フーケ氏は中国の半導体技術管理を公に批判し、このリソグラフィー巨人の無力さと業界の「一般的な環境」に立ち向かう意欲のなさを明らかに伝えた。

同時に、「主要な環境」を独力で形成している米国当局者らは依然として熱心に協力しており、さらなる制裁を計画し、この輸出管理網をさらに詳細なものにしようとしている。最近のインタビューで、ジーナ・ライモンド米国商務長官は、「彼ら(中国)は我が国の最先端のAIチップや製造設備を所有することはできない…我々は米国の安全を確保するために規制を更新し続ける」と明言した。 (彼らは当社の最も洗練された最先端の AI チップや、それらのチップを製造する装置を所有することはできません)

一方で、長距離武器の管轄権が強化され、他方では、鋼線のバランスを見つけるのに苦労している「リソグラフィーの巨人」は、猛烈な中国市場の需要がある。扇動者が目を覚ます。

聞いていますよ、ジェリー

ASML は、今日自分の眉間に命中した銃弾が 40 年前の自分と深いつながりがあるとは思ってもいなかっただろう。

1985 年、このオランダの設立間もない小さな会社は、自社の研究開発能力には十分な自信を持っていましたが、「百聞は一見に如かず」の半導体装置市場において、同様の多くの問題に直面していました。現在の中国の同業者と同様に、実際の出荷結果がなければ顧客に感動を与えることは難しく、顧客のフィードバックなしに製品を繰り返すことは不可能であり、限られた開業資金は会社の運営ですぐに消費されてしまいます。

幸いなことに、突然激化した日米間の「半導体戦争」は、ASMLに死の谷を越える機会をもたらした。今年、AMDの創設者ジェリー・サンダース氏は業界会議で総力を挙げて米国国産半導体装置の品質を批判し、高品質で低価格の日本製リソグラフィー装置が市場を席巻すると警告した。

サンダースの「暴力的な発言」はすぐにASMLの米国マーケティング部長チャック・ロバーツの注目を集めた。日米半導体業界の競争にますますイデオロギー色が注入される中、純粋な西欧の「血」が図らずもASMLに米国市場を切り開いた。ユニークな利点をもたらします。ロバーツ氏は興奮気味に、「サンダース氏はGCAとパーキンエルマー(米国の二大露光装置メーカー)を血のにじむように叱った。日本製品を強制的に買わされることを望んでいない。これは我々のチャンスだ!」と語った。

これを認識した ASML は、業界メディアで「私たちは聞いています、ジェリー」と題したターゲットを絞った広告をすぐに開始し、自社製品とサンダースの魅力の適合性をポイントごとに紹介しました。


サンダース氏の姿勢は、現時点でのAMDの経営難によるところが大きく、業界ではナショナル・セミコンダクターと同様にAMDもすぐに買収されると予想されていた。

この広告は、商談やプロトタイプの比較テストを繰り返し、さらには壁を乗り越えて顧客の工場に侵入するという奇策にも手を出し、ASMLがAMDのサプライチェーンに侵入する最初の足がかりとなった。修理のための夜、ASMLはついにAMDの大量注文を獲得し、最初のヘビー級顧客を獲得しました。この画期的な進歩は、同社が最初にフォトリソグラフィー装置市場で足場を確立し、最も脆弱なスタートアップ段階を通過したことも示しています。

米国市場のニーズに積極的に応えることが、ASML の初期開発の主力ラインとなり、SVG の引き継ぎや Intel の注文の活用から、EUVL への参加、Cymer の買収、そして Nikon の「確実な抹殺」まで、ASML に多大な恩恵をもたらしました。訴訟はすべて米国が提供する「便宜」と密接に関係しており、ASML の発展の歴史において重要な後押しとなった。

しかし、サブプライム住宅ローン危機の洗礼を経験した後、世界の半導体産業の重心が北東アジアへと加速するにつれ、ASML とその主要な顧客であるアメリカのパートナーとの間で、立場の重大な逆転が徐々に起こりました。東アジアの顔に変わり、静かに耳を傾けます。

2012年、EUV光源開発の問題を完全に解決し、Cymerの買収を完了するために、ASMLはIntel、Samsung、TSMCから私募を通じて資金を調達する、いわゆる顧客共同投資計画を立ち上げた。サムスンとTSMCの合計を上回り、申込株数で第1位となった。これらの議決権のない株式に実際の資金を費やすことは、インテルの「誠実さ」を示しています。さらに重要なことは、インテルの動きは、業界に毅然とした姿勢を保つよう強いシグナルを送り、ニコンなどの日本メーカーがEUVリソグラフィー装置をフォローする自信を完全に消し去ったことだ。

しかし、2013年7月、ASMLの企画のもと開催された「ビッグスリー」ウェーハ製造会議で、インテルが推進していた18インチ技術の突然の終焉が発表され、「東進、衰退」の画期的な出来事となった。 「西側」の半導体産業の優位性。当時失意のうちに引退したインテルのベテラン、ビル・ホルト氏は、ASMLに対して「騙し討ちや急所攻撃をしに来る」という感情を抱いていたかもしれない。

ASML は完全な翼を持っていると考えていましたが、最終的には自由を制限する束縛から抜け出すことができませんでした。

2020年以来、シリコンバレーの「長期主義者」サークルと深いつながりを持つジェイソン・マセニー、タルン・チャブラ、サイフ・カーン、その他の「達人」の指揮下で、古い「チップ戦争」が再びパッケージ化された新しい状況が続いている。グローバリゼーションの黄金時代における不屈のトレンドセッターは、突然、自由貿易ゲームのルールがメーカーによって放棄されたことに気づきました。

「半導体戦争」から「チップ戦争」に至るまで、過去40年間に、巨大で強力な企業であるASMLは、もはや空飛ぶナイフではなく、獲物そのものとなった。

もちろん、アメリカの「市場経済」の目に見える手も、サムスンとTSMCを手放してはいない。彼らの「パートナー」の欲求を満たすために、2大ファウンドリ大手はハイエンドチップの生産能力を計画している。米国では 5 ナノメートル未満で、月あたり 100,000 個近くになります。

この数字自体が、赤裸々な「根掘り葉掘り」陰謀を宣言している。

直感に反する事実は、世界の半導体製造業界の現在の総生産能力である年間約 1 億枚の 12 インチ ウェーハ (換算値) のうち、EUV リソグラフィー装置を必要とする 5 ナノメートル未満のノードを備えたロジック チップは、約1% であり、近い将来、この割合は一桁も変わらないでしょう。

「緊密にバランスの取れた」ハイエンドの生産能力の供給パターンでは、TSMCは価格を冷静に調整し、すべてを処理するのに十分な米国の新しい生産能力として、半導体製造の最も豊かな成果を享受することができます。需要が形になっても、これは必然的に打ち砕かれることになる。この状況では、TSMCとハイエンド顧客の間の交渉力は逆転するだろう。

このような危険な状況に直面して、東アジアの OEM 大手 2 社は、ASML スタイルの苦情をあえて表明することさえしませんでした。


ブローバの比喩

産業チェーンの「チョークポイント」ノードは一掃されたとはいえ、中国に対する「半導体戦争」の輝かしい勝利を再現しようとする試みは、米国政府と国民の夢に過ぎない運命にある。

半導体の分野では、米国が設定した「チップ戦争」の目標とその能力の間には大きな乖離がある。つまり、この押し付けられた「戦争」は中国の半導体産業の発展を止めることも、半導体産業の成功を達成することもできない。米国のハイエンド製造業ルネッサンスの幻想。

米国政府関係者から各国のメディアまで、長期にわたる管轄権が中国の先進的な製造プロセスの開発ペースを妨げてきたことは事実である。「中国は数世代の製造プロセスに遅れをとっている」「EUVはいつブレイクするのか」スルー」や「EUV ギャップは何年か」などが一般的に議論されます。しかし、前述したように、このような議論には大きな盲点があり、ハイエンドチップの生産能力比率が非常に低いということは、この「追加の問題」に取り組む代わりに、より重要かつ緊急の「基本的な問題」がたくさんあることを意味します。 「ちゃんと答えないといけないよ。

客観的に見て、嵐を経験した後、中国の半導体産業の環境発展は装置や材料から特殊なプロセスや製品カテゴリーに至るまで大幅に改善され、ますます多くの海外メーカーが高品質を「放棄」した。近年、地元のサプライヤーは以前では想像もできなかった輸入の機会を提供しており、生態系ネットワークにおける水平および垂直のつながりが大幅に深まりました。

中国集積回路イノベーション同盟の事務総長、葉天春氏は最近、半導体材料の国産化における一連の進歩について次のように語った。

12 インチ 45 ~ 28nm プロセスの材料多様性カバー率は 70% を超え、先進ストレージ技術の材料多様性カバー率は 75% を超え、大型シリコンウェーハ製品の主要プロセスを完全にカバーしています。国内FAB工場、フォトレジスト 画期的な進歩が見られ、i-line接着剤の市場シェアは20%を超え、KrF接着剤の市場シェアは10%に達し、ArF乾式接着剤がバッチで塗布され始め、いくつかの種類のArFi浸漬接着剤が使用され始めたスパッタリングターゲット材料は小ロットで国内市場シェアを実現 FAB工場からの総合供給により、一部の製品はCMP研磨材、特殊電子ガス、プロセスケミカルの主要サプライヤーとなっている。従来の包装用の主要材料を独自に供給...

先進プロセスの大樹を超えて、中国の半導体産業の森全体が非常に豊かになった。

もちろん、7nm 以降のプロセス業界のエコロジーを見ると、各ノードがゼロから発展して卓越した状態になるまでにはまだ長い道のりがあります。リソースからアプリケーションまで、主導権はしっかりと中国人自身の手に握られており、半導体産業はたゆまぬ努力によって確実に目標を達成するだろう。

先進的なプロセスに追いつくためには、その難しさに真正面から向き合い、EUVリソグラフィー装置を例に挙げると、そのLPP光源には3つのレーザーと錫が必要です。液滴発生器と集光ミラーは、エンジニアリング上の大きな課題である ASML のサイマーの進歩に、LLNL およびその他の米国国立研究所による慣性閉じ込め核融合に関する知識の蓄積から大きく恩恵を受けています。これは、米国の自信でもあります。 ASMLのロングアームを管轄しており、中国のエンジニアリングチームは現状から学びたいと考えている。体系的な枠組みがあれば、ガスレーザー研究の人材不足など、一連の現実的な問題に直面するだろう。

しかしその一方で、ASML は Zeiss やTrumpf などの中核サプライヤーの全面的な支援を受けながらも、EUV リソグラフィ研究の開始から大規模生産ラインへの製品提供まで 20 年間の困難を乗り越えてきましたが、LPP-EUV は技術的な潜在力を発揮することができます。というのは、探索では、後発者が同じ 20 年かけて磨きをかけ、反復することをサポートできない可能性があるからです。強制的に開口数を増大させるHyper-NA EUVは、深すぎる焦点深度や3次元マスク効果などの複数の制約に直面しており、追いつく途中でリソグラフィ技術体系にまた大きな変化が起こる可能性がある。


IRDS ロードマップの現在の更新から判断すると、自由電子レーザー (FEL) は次世代の 6.X ナノメートル リソグラフィ光源の最も有望な基盤である可能性があります。この分野ではあまり注目されていませんが、中国の研究者もこの分野で劣っていません。イノベーション ヨーロッパとアメリカを旅行中。

この可能性のある分野における当社の競争力は、大型 FEL デバイスの仕様と数量に反映されるだけではなく、2021 年には、中国科学院上海光学精密機械研究所の強磁場レーザー物理学の国家重点研究室にも反映されます。化学自由電子レーザーの研究において画期的な進歩を遂げ、卓上自由電子レーザーの原理の実験的検証を完了することに先導し、この分野における我が国の世界的リーダーの地位を確立した。 。


我が国が世界をリードする小型FEL技術

つまり、フォトリソグラフィーの限界手前の困難に直面する私たちの取り組みには、ハードな作業だけではなく、現場の状況やタイムリーな状況に適応した「スマートな仕事」が求められます。

ハイエンド製造業の復活促進という「チップ戦争」のもう一つの大きな目的について、ライモンド米商務長官は「製造業のハードウェアを再びセクシーなものにするだろう。米国におけるハードウェアの製造」と率直に説明した。 , きちんとした、魅力的で、高収入の仕事に就くことができたら素晴らしいと思いませんか? 私たちは一緒に産業基盤を再構築し、アメリカのイノベーション能力を強化し、何十万もの高収入の仕事を生み出すことができます。」

ライモンドさんの夢は、彼女が何度も語った幼少期の経験に由来しています。時計製造業者ブローバが工場を中国に移転し、時計製造労働者が住んでいた村を破壊したのです。

彼女が言及したブローバは、クォーツ時計技術の発展の歴史に基礎的な貢献をしましたが、そのような独自の技術を持つ企業は徐々に工業化に遅れをとり、最終的にはいわゆる「クォーツ危機」で淘汰されました。 。

ブローバの歴史を詳しく見てみると、ブローバを打ち破ったのは中国や日本との競争ではなく、「高収入の仕事」と製造コストの厳しい下降傾向の間で古き良き時代に憧れていたアメリカ人自身だったことがわかります。システムには、調和するのが難しい固有の緊張があります。

ブローバはアメリカの製造業の運命の比喩です。

落ち着いてモンスターについて考えてください

ASMLやその他の半導体業界からの真摯な訴えにもかかわらず、中国の世論の場では常に、野蛮で残忍な米国の規制を支持し、中国企業に起こったことに何か問題があるとほのめかす理解できない声がこだましている。文明社会」が反撃を強いられ、「なぜ他人をいじめて自分だけいじめないのか」という田舎風の解釈が流行した。

大衆を啓発し、深く反省する前に、世界情勢に対する洞察力を持つこれらの「教育を受けた人々」は、自分たちの「精神的な祖国」についての一般的な知識を得る必要があります。

1980年代の日米間の長期にわたる貿易戦争と技術戦争において、アメリカ人はすでに「文明世界」としての素性を証明していた。

1982年、若い中国人技術者、陳国仁氏の死は米国に衝撃を与えた。ほんの数回口論になった後、彼に会ったことのない2人のデトロイト自動車労働者が日本人と間違われ、残念ながら陳国仁氏を殴り殺した。日本の自動車業界の憎しみの標的。

その後、アメリカの裁判官はその殺人者に3年間の執行猶予と3,000ドルの罰金を言い渡した。判決文では、「犯罪に見合った刑罰を与えることはできない。犯罪者(の性格)に見合った刑罰にするべきだ」と自信を持って書いた。 」

またこの時期、「日本脅威論」は絶えず洗練され、形成され、多くの小さな町の店主が「日本人お断り」の看板を掲げるようになった。 400ドルの補助金を支給し、ヘアカットからガソリンまで、国産車を運転する顧客はいつでも割引を受けられるようになり、ロサンゼルス地下鉄の試みにより交通違反さえも許されるようになる。日本製電車の購入を求める電話が殺到し、「サイバー暴力」が発生…

これほど多数の「個別の事件」に対して、国内の学者の中にはあえて「義和団」とレッテルを貼らない人もいるかもしれない。


草の根レベルでの「民衆感情」の高まりと比較すると、アメリカのエリート層のパフォーマンスも同様に印象深い。

AFL-CIOの責任者レーン・カークランド氏は、「日本人が自由貿易を求めるのを聞くのは、売春婦の口から『愛』という言葉を聞くようなものだ」と恥ずかしげもなく言った(下院議長ブルックスは率直にこう言った)。トルーマン大統領が日本に核爆弾を2発しか投下しなかったことは残念であり、「彼は4発投下すべきだった」と著名な学者ローレンス・サマーズ氏は認めた。ハーバード・ビジネス・レビュー編集長のアラン・ウェバーは「現在、日本がソ連よりも米国にとって大きな脅威となっていると信じている米国人の大多数は正しいかもしれない」と述べ、ハーバード・ビジネス・レビュー編集長のアラン・ウェーバーは次のように結論づけた。ソ連での戦争。」

世論の場において、当時のワシントンの最先端シンクタンクは、マンスフィールドやその他の国研究の古い世代の専門家に「菊のキッサー」という称号を与え、時には「何百人ものワシントンのエリートが日本の補助金を受けている」というスリラーな内容を誇張し、時には誇張した。貿易ライバルとの差し迫った軍事衝突を描く。

もちろん、乾君の文章力に関して言えば、伝説の記者セオドア・ホワイトを見なければなりません。

1985年に出版された古典的な報告書『日本からの危険』の中で、白秀徳氏は日本の半導体産業の新旧の恨みをわずか数筆で概説した。「今年、通商産業省の主な標的は明らかに、米国のエレクトロニクス産業 昨年、米国の対日電子貿易赤字は自動車貿易赤字を上回り、154億ドルに達した。日本はこの産業における米国の支配を排除することを執拗に提案してきた。現在はエレクトロニクスの輸出業者である日立は、第二次世界大戦の最後の 2 週間で爆撃機によって粉砕されたとき、日本を代表する兵器メーカーの 1 つでしたが、現在は反撃しています。その調子は再び攻撃的になっており、同社はインテルとAMDから半導体市場を奪おうとしている。」

同時に、ホワイトは驚くほど率直かつ冷淡に、アメリカ国民の不安の根本原因を解剖した。

「もし世界中の誰もが自由貿易に対する平等な権利を持っていれば、労働者がわずかな賃金を高く評価している国々は、労働者が世界で最も高い賃金を要求している米国のような先進国の市場を征服できるだろう。そうしなければ、我々の生活水準は改善されなければならない。」均衡に達するまで基準は低下するだろう...日本に「四虎」が続き、僅差で中国とインドが続く。彼らは必要に応じてアメリカ人の生活水準を犠牲にしてでも、生活水準の向上に熱心である...すべて。各国はアメリカ人の雇用を犠牲にしてでも日本の真似をしたいと考えていますが、私たちの良心は、生活を改善するために懸命に働いている世界の貧しい人々を排除することをアメリカ人に許しません。私たちの貧困に対して、日本人は私たちの保護のもと、ほとんど無償で同じ平和を享受していますが、アメリカ人の生活を追い詰める権利を保持しています。」

Bai Xiude氏が明らかにしたように、アメリカ人の考え方の中には、アメリカ人の生活水準と後発国の工業化の間には暗黙の「高圧線」がある。

現在リニューアルされた「チップ・ウォーズ」番組では、冷戦終結時の脚本がピクセルレベルで盗作されているのを見るのは難しくない。日本のように発展のペースを一日も止めて「失われた○○年」に沈まない限り、米国政府と野党のヒステリーは一日も止まらないだろう。

しかし、時代は変わり、今日のそのような偏狭な考え方と横暴な慣行は、中国の科学技術における自己改善への道を阻止できないだけでなく、いつか、ASMLのような「パートナー」の発展の場を妨げることになるだろう。米国が目覚めれば、ASMLの規則によって性的地位も永久に失われるかもしれない。


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