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21世紀ビジネスヘラルド記者の張彩南氏が上海から報告

8月2日、中国微電子(688012.SH)は上海臨港市に工業化拠点を開設したと発表した。この基地には、高度な生産ワークショップやインテリジェントな立体倉庫などの施設が備えられており、創業 20 年のシノミクロン社が新たな発展段階に入ったことを示しています。

AMECの創設者、会長兼ゼネラルマネジャーのイン・ジヤオ氏は講演の中で、AMECの目標は2035年までに規模と競争力の点で世界一流の半導体装置企業になることだと述べた。

イン・ジヤオは1944年生まれで、今年80歳になる。同氏は現場で、チャイナマイクロを20年間率いてきたが、チャイナマイクロの40周年を祝うために20年後に再会することを楽しみにしていると感慨深げに語った。

新しい拠点がオープンしました

60代のイン・ジヤオ氏は中国に帰国し、2004年に白紙の状態からZhongweiを設立し、2019年に科学技術イノベーション委員会に上場する企業の第一陣となった。わずか数人の起業家チームから生まれた。 15 人から徐々に成長し、今日では 2,000 人以上のグローバル従業員が在籍しています。

AMEC の領域も拡大しており、張江ハイテクパークの小さなオフィスから世界中に拠点を置くまでになりました。現在、AMEC は中国本土、台湾、シンガポール、韓国、ドイツ、イタリアを含む 10 以上の国と地域に顧客を抱えています。

報道によると、新たに開設された臨港工業化基地はAMECの重要な生産基地となる予定で、基地の敷地面積は約157エーカー、総建設面積は約18万平方メートルで、研究所が備えられている。クリーンルーム、生産工場、インテリジェント三次元倉庫などの設備により、生産プロセス全体のデジタル化とインテリジェント管理を実現します。

臨港工業化基地は先進的な工場管理システムを採用し、インテリジェントな3次元倉庫を備え、製造リソースの追跡と生産プロセスの監視を実現していると報告されています。

21世紀ビジネスヘラルドの記者は基地の生産ワークショップとスマート倉庫プラットフォームを訪問し、スタッフは正常化された大規模生産に入った。

これに先立ち、2023年7月に14万平方メートルのAMECの南昌生産・研究開発拠点が完成し、使用開始となったが、現在は滴水湖畔にあるAMECの臨港本社と研究開発ビルも建設中であり、約10万平方メートルの面積。将来的には、チャイナマイクロの生産・研究開発拠点の総面積は約45万平方メートルに達する。

担当者によると、2024年までに国内外130以上の生産ラインに5,000以上の反応ユニットを導入し、大量生産と大規模な反復販売を実現するという。

機器のローカライズを推進

中国の半導体装置産業の急速な発展に伴い、チャイナマイクロの売上高と純利益は過去5年間、2桁以上の成長を維持している。今年第1四半期のチャイナマイクロの売上高は16億元で、前年同期比31％増、親会社に帰属する純利益は2億4,900万元で、前年同期比9.53％減となった。控除後の非純利益は2億6,300万元で、前年同期比15.40％増加した。

China Microelectronics Corporation は、中国の半導体装置のリーダーとして、国内の半導体装置の発展と台頭を見守り、主導してきました。同社の主力製品には、半導体プラズマエッチング装置やLED用金属蒸着装置（MOCVD）などがある。その中でもプラズマエッチング装置は、フォトリソグラフィー装置と並んで最も重要な微細加工装置であり、工程数が最も多く、プロセス開発が最も難しい装置です。

「髪の毛の直径は70ミクロン。5ナノメートルのチップ部品を例にとると、同社の微細加工装置は髪の毛の1万4000分の1の規模の高層ビルを建てるのに相当する」。マイクロカンパニーのメンバーが記者たちに生き生きと紹介した。

シノミクロンは、業界初のデュアルマシンエッチング装置技術により、「ピコメートルレベル」の加工精度という概念を先駆けて提案し、そのエッチング精度は3.5ピコメートルに相当する100「ピコメートル」以下のレベルに達したことがわかります。人毛の100万点に及ぶ比類のない精度と、エッチング塗布ニーズの90％以上に応える豊富なエッチング塗布範囲を特長とし、より高度なレベルをカバーする技術力を持っています。 5ナノメートル以下。

年初めに開催された2023年の業績説明会で、イン・ジヤオ氏は、同社が装置市場第4位の光学検査装置をレイアウトしたことを明らかにした。同氏は、電子ビーム検査装置は現在の集積回路業界の絶対的な欠点であり、この分野は今後最大の市場需要を持つ最も重要な半導体装置の一つであり、将来的にはこの分野への関与を検討すると述べた。

臨港基地が開設された日に、SMICの創設者である張如静氏や長江メモリの陳南祥会長など、半導体業界の多くの主要人物が現場に来ていたことは注目に値します...彼らは全員です。」国産半導体装置の普及を推進する「イーターズ」。カニマン」。

Zhang Rujing氏は、「当社には装置製造においてすでに一流の人材がいる。世界的に見ると、フォトリソグラフィー装置の生産を除けば、基本的には他の半導体装置に追いついた。たとえ一部にまだ差があるとしても、その差は大きく広がっている」と語った。同氏はまた、国内の半導体製造装置企業が海外市場に「進出」し、世界的な競争に参加することを奨励した。